国家高技术研究发展计划(2006AA804803)
- 作品数：1 被引量：8H指数：1
- 相关作者：王毕艺蒋晓东袁晓东田东斌赵松楠更多>>
- 相关机构：电子科技大学中国工程物理研究院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- ZrO2/SiO2双层膜膜间渗透行为初步研究被引量：8
- 2008年
- 用溶胶-凝胶技术,采用提拉镀膜法在K9玻璃基片上镀制了ZrO2/SiO2双层膜和SiO2/ZrO2双层膜,研究了这两种膜层之间的渗透问题。用X射线光电子能谱仪(XPS)测量了薄膜的成分随深度方向的变化,用反射式椭偏仪对X射线光电子能谱仪测得的实验结果进行模拟与验证。结果表明,用X射线光电子能谱仪测得的实验结果建立的椭偏模型,模拟出来的椭偏曲线和用椭偏仪测量出来的椭偏曲线十分吻合;对于ZrO2/SiO2双层薄膜,膜层间的渗透情况不是很严重,在薄膜界面处薄膜的成分比变化非常明显,到达一定深度后薄膜的成分不再随深度的变化而变化;SiO2/ZrO2双层膜膜层界面间的渗透十分严重,渗透层的深度比较大,底层几乎发生了完全渗透。
- 王毕艺蒋晓东袁晓东祖小涛赵松楠郭袁俊徐世珍吕海兵田东斌
- 关键词：椭偏仪
