江西省教育厅科学技术研究项目(GJJ13639)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
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- 发文基金：江西省教育厅科学技术研究项目更多>>
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- 氩氧流量对ZAO薄膜微结构及其光学性能影响被引量：2
- 2013年
- 运用射频磁控溅射技术,改变氩氧流量比在玻璃衬底上生长ZnO∶Al(ZAO)样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计对薄膜微结构、厚度及其光学性能表征,结果发现:维持氩流量不变(9 sccm),随着氧流量增加(1～9 sccm),样品XRD峰强减小,半高宽增大,晶粒尺寸减小,薄膜结晶性能变差;而维持氧流量不变(9 sccm),氩流量减小(9～3 sccm),样品XRD峰强增大,半高宽减小,晶粒尺寸变大,结晶性能变好。紫外可见光光谱在400～900nm波长区间平均透射率差异大(67.9%～91.1%);在420～900 nm波长区间平均透光率高且差异小(90.2%～92.4%)。
- 朱华万文琼况慧芸冯晓炜
- 关键词：透射率磁控溅射
- 工作压对射频磁控溅射ZAO薄膜微结构及光电性能影响的研究被引量：1
- 2013年
- 运用射频磁控溅射技术,改变工作压(3～10 Pa)在玻璃衬底上生长透明导电ZnO∶Al(ZAO)样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计、霍尔效应测量仪及SEM对薄膜微结构、厚度及其光电性能表征。结果发现:随着工作压增大,样品XRD曲线由多峰转变为(002)单峰,峰强变大半高宽减小,晶粒尺寸由10.01 nm增大到13.46 nm,薄膜结晶性能变好;紫外可见光光谱在400～760 nm波长区间平均透射率均在85%以上,且在400 nm以下均有吸收边峰出现,样品带隙宽度随工作压增加有蓝移现象,样品厚度随工作压增加从1085 nm减小到781 nm。样品电阻率随工作压从3～6 Pa增加由0.5×10-4Ω·cm增大到35×10-4Ω·cm,在6～10 Pa区间有减小趋势。
- 朱华万文琼况慧芸冯晓炜
- 关键词：ZAO薄膜透射率电阻率
