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国际科技合作与交流专项项目(2002DFG0051)
作品数:
1
被引量:13
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相关作者:
孙建
耿新华
韩晓艳
张德坤
任慧志
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相关机构:
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发文基金:
国际科技合作与交流专项项目
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王岩
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孙建
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2006
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相变域硅薄膜材料的光稳定性
被引量:13
2006年
采用RF-PECVD技术,通过改变反应气体的硅烷浓度制备了一系列不同晶化率不掺杂的硅薄膜材料,研究了工艺变化对材料结构的影响及材料光电特性同微结构的关系.随后进行了光衰退试验,在分析光照前后光电特性变化规律的基础上,认为材料中的非晶成分是导致材料光电特性衰退的主要原因.在靠近过渡区非晶一侧的硅材料比普通非晶硅稳定,衰退率较少;高晶化率微晶硅材料性能稳定,基本不存在光衰退;在靠近过渡区微晶一侧的硅材料虽然不是完全不衰退,但相比高晶化率硅材料来说更适合制备高效微晶硅电池.
王岩
韩晓艳
任慧志
侯国付
郭群超
朱锋
张德坤
孙建
薛俊明
赵颖
耿新华
关键词:
硅薄膜
稳定性
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