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陕西省自然科学基金(2005B13)

作品数：4 被引量：22H指数：3
相关作者：王增林白红军刘志鹃王秀文姜洪艳更多>>
相关机构：陕西师范大学关西大学更多>>
发文基金：陕西省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信理学更多>>

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇互连
  • 1篇电化学
  • 1篇电化学性质
  • 1篇电路
  • 1篇镀铜
  • 1篇粘结
  • 1篇粘结强度
  • 1篇双SCHIF...
  • 1篇铜互连
  • 1篇配合物
  • 1篇子层
  • 1篇吡啶
  • 1篇无甲醛
  • 1篇香草醛
  • 1篇邻香草醛
  • 1篇邻香草醛缩
  • 1篇锰酸钾
  • 1篇扩散层
  • 1篇互连线
  • 1篇化学镀

机构

  • 4篇陕西师范大学
  • 1篇关西大学

作者

  • 4篇王增林
  • 2篇姜洪艳
  • 2篇王秀文
  • 2篇刘志鹃
  • 2篇白红军
  • 1篇杨祖培
  • 1篇殷列
  • 1篇刘宗怀
  • 1篇高彦磊
  • 1篇幸福刚

传媒

  • 1篇电化学
  • 1篇电镀与精饰
  • 1篇电镀与涂饰
  • 1篇陕西师范大学...

年份

  • 2篇2008
  • 2篇2006
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
化学镀铜技术的最新进展被引量：10
2008年
概述了国内外关于超级化学镀铜填充技术的最新研究成果,主要包括应用于半导体铜互连线工艺的化学镀铜和以次磷酸钠作还原剂的无甲醛化学镀铜。介绍了不同添加剂在超级化学镀铜填充中的作用机理以及存在的问题,并提出了今后的研究方向。
高彦磊白红军殷列刘宗怀杨祖培王增林
关键词：铜互连次磷酸钠无甲醛
高锰酸钾溶液粗化环氧树脂板的研究被引量：7
2006年
在不同的微蚀温度、时间条件下,研究了高锰酸钾微蚀溶液对环氧树脂层压板和3240型环氧树脂板(基板)微蚀作用的影响。通过基板表面形貌的观察和对化学镀铜层与基板间粘结强度的测定,研究和比较了高锰酸钾体系和传统的铬酐-浓硫酸体系对两种基板的微蚀效果。结果表明,经过高锰酸钾溶液处理后,环氧树脂层压板和3240型环氧板粘结强度分别可达到5.88 N/cm和2.35N/cm,远远高于传统的铬酐-浓硫酸处理后镀铜层与基板的粘结强度;同时,使用高锰酸钾溶液可以减小环境污染,且操作简单易行,它作为新型的微蚀体系有望取代传统的铬酐-浓硫酸微蚀体系。
王秀文姜洪艳刘志鹃王增林
关键词：高锰酸钾粘结强度
化学镀技术在超大规模集成电路互连线制造过程的应用被引量：5
2006年
总结自大马士革铜工艺建立以来,电化学工作者利用化学镀技术围绕该工艺而开展的一系列相关研究,介绍了应用化学镀沉积镍三元合金防扩散层和化学镀铜种子层的研究以及离子束沉积法(Ion ized C lus-ter Beam,ICB)形成Pd催化层后的化学镀铜技术和超级化学镀铜方法.简要叙述化学镀铜技术在超大规模集成电路中的应用,总结化学镀铜技术的研究进展,并指出了今后的发展方向.
王增林刘志鹃姜洪艳王秀文新宫原 正三
关键词：化学镀铜
邻香草醛缩2,6-二氨基吡啶双Schiff碱配合物的合成与表征被引量：2
2008年
通过二价过渡金属元素(Cu、Ni和Co)与邻香草醛缩2,6-二氨基吡啶(H2L)在甲醇溶液中的反应,成功地制备了三种二价过渡金属的配合物.通过元素分析和热重分析对配合物进行了表征,确定配合物的组成为CuL.5H2O、NiL.5H2O、CoL.2H2O.通过对配合物的红外光谱和紫外光谱测定与归属,推测在三个过渡金属Schiff碱配合物中配体是通过酚羟基的氧原子和亚氨基的氮原子进行配位的.通过循环伏安法对配合物的电化学行为进行了研究.
白红军幸福刚王增林
关键词：邻香草醛SCHIFF碱配合物电化学性质
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