浙江省“钱江人才计划”(2013R1066)
- 作品数：4 被引量：22H指数：3
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- 相关机构：中国计量学院更多>>
- 发文基金：浙江省“钱江人才计划”国家自然科学基金教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
- 相关领域：机械工程自然科学总论自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 激光偏振干涉纳米定位系统的设计与实验研究被引量：2
- 2013年
- 为适应工业发展和计量界对精密定位提出的越来越高的要求,提出了基于偏振激光干涉技术的纳米定位方法。在该干涉测长系统中,用偏振计取代传统单频激光干涉仪的光电传感器并配置偏振分光元件、起偏镜等,可将干涉仪出射光的干涉条纹相位细分为36 000份,使用波长为633 nm的激光源,可将理论测量分辨率提高到10 pm。将完成的偏振干涉测长系统与商用SIOS干涉仪的实验测量结果做了比对。对完成的实验系统的各误差源做了实验研究,得到量化值。经不确定度评估计算,在标准实验室环境条件下,对于微米级行程的位移,其位置测量不确定度小于1.4 nm。该方法可应用于纳米定位的各个领域。
- 许素安钱飞谢敏黄艳岩富雅琼陈乐孙坚
- 关键词：定位控制误差分析
- 基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统被引量：8
- 2014年
- 工业的发展对位置测量精度提出了越来越高的要求。测量外差干涉仪由于其自身测量范围广、测量速度高、稳定性好、分辨率高的特点,在纳米测量领域中得到广泛的应用。提出了一种基于LabVIEW的外差干涉纳米位移测量系统,该系统采用外差干涉仪作为位置检测单元,利用LabVIEW图形化编程语言开发了纳米精度位移测量系统。该系统可广泛应用于纳米计量和超精密测量领域。
- 何京徽许素安谢敏袁铭权钱飞陈乐孙坚
- 关键词：激光外差干涉仪LABVIEW
- 基于压电陶瓷光电相移驱动的大行程纳米定位系统被引量：4
- 2014年
- 由于压电陶瓷驱动器作纳米定位控制系统驱动元件会导致定位过程中出现超调及振荡现象,故提出了一种新的基于外差干涉仪和自制高频相移电路的光电相移压电陶瓷驱动方法。实验论证了在严格控制的实验环境下,压电陶瓷能实现自主位置锁定并以纳米量级步距值被逐步推进。步距值可控的压电陶瓷驱动器与商用宏动平台结合,可实现纳米精度重复性的大行程定位系统。实验结果表明,对于5mm往返行程的位移,在靠近目标处执行理论值为5nm步距值的步进位移时,系统的定位重复性精度小于1nm。该定位方法规避了压电陶瓷的机械非线性误差,具有系统架构简单,定位速度快等优点,可应用于当前纳米科技和超精密加工等领域。
- 许素安谢敏孙坚陈乐王桂荣
- 关键词：外差干涉仪压电陶瓷执行器
- 基于多项式拟合的压电陶瓷迟滞神经网络建模被引量：8
- 2015年
- 在压电陶瓷致动器优化设计的研究中,针对压电陶瓷的迟滞非线性特性,提出了一种基于多项式拟合算法的神经网络建模方法。由于压电陶瓷驱动器的迟滞现象是一种多对多的映射关系,而传统的建模方法只能对一对一映射进行建模。为解决上述问题,在对压电陶瓷迟滞现象的形成原因和特点进行深入分析的基础上,采用多项式拟合和神经网络相结合的方法对压电陶瓷驱动器的迟滞现象进行建模。仿真结果表明,采用多项式拟合算法的神经网络建模克服了传统建模方法只能对迟滞曲线进行分段建模的局限性,且拟合精度比较高,神经网络正模型的拟合误差为1.45%,神经网络逆模型的拟合误差为1.16%。表明上述神经网络模型精确地反映了压电陶瓷的迟滞特性。
- 钱飞许素安刘亚睿黄艳岩
- 关键词：压电陶瓷驱动器多项式拟合神经网络
