上海市科学技术委员会资助项目(07DZ22302)
- 作品数：7 被引量：41H指数：4
- 相关作者：王占山陈玲燕张众王晓强朱京涛更多>>
- 相关机构：同济大学天津津航技术物理研究所中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜被引量：4
- 2009年
- 太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多层膜,采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg,B_4C/Mg和C/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的结构。研究表明虽然B_4C/Mg多层膜理论反射率最高,但实际制备结果显示,SiC/Mg多层膜的成膜质量最好,反射率最高。同步辐射反射率测量表明:在入射角10°时实测的SiC/Mg多层膜反射率为44.6%。
- 白亮朱京涛徐敬黄秋实吴文娟王晓强王占山陈玲燕
- 关键词：薄膜光学多层膜磁控溅射极紫外反射率
- 基于微带传输线的由特异材料构成的一维光子晶体被引量：3
- 2009年
- 通过左右手复合传输线(CRLH TLs)实现了一维的特异材料(Metamaterials),基于Metamaterials单元构成了光子晶体,并分析、测试了其传输特性.实验结果表明,由特异材料构成的一维光子晶体具有Bragg带隙和等效的单负带隙.当晶格尺度同比例改变时,等效的单负带隙基本上不发生移动,并且带边分别由零平均介电常数—ε=0和零平均磁导率—μ=0决定.零平均折射率(zero-—n)带隙和零有效相位(zero-Φeff)带隙可以理解为一种等效的单负带隙.对由Metamaterials构成的一维光子晶体传输特性的研究,有助于Metamaterials在射频/微波电路和仪器中的应用.
- 张利伟张冶文李海洋赫丽王治国
- 关键词：特异材料
- 磁控溅射制备Ni/Ti多层膜表面粗糙度被引量：5
- 2010年
- 采用磁控溅射方法制备了周期数分别为10,30,50和75的Ni/Ti多层膜,利用X射线掠入射反射测量了多层膜表面和界面的状态,并用原子力显微镜测量了多层膜的表面粗糙度,研究了不同周期数的Ni/Ti多层膜表面粗糙度的变化规律。结果表明:Ni/Ti多层膜表面粗糙度随着膜层数增加而增加,当Ni/Ti多层膜的周期数从10变化到75时,其表面粗糙度由0.80 nm增大到1.69 nm。实验数据拟合表明:Ni/Ti多层膜表面粗糙度与周期数成3次方关系;但在周期数较小时,粗糙度与周期数成线性关系。
- 潘磊朱京涛王晓强蒋励李浩川徐敬张众王占山陈玲燕
- 关键词：粗糙度原子力显微镜
- 不同本底真空度下SiC/Mg极紫外多层膜的制备和测试被引量：8
- 2009年
- 为研究不同本底真空度对SiC/Mg极紫外多层膜光学性能的影响,利用直流磁控溅射方法在不同本底真空度条件下制备了峰值反射波长在30.4nm的SiC/Mg周期膜。X射线掠入射反射测试结果表明,不同本底真空度条件下制备的SiC/Mg周期多层膜膜层质量有明显差异。用同步辐射测试了SiC/Mg多层膜在工作波长处的反射率,结果表明,本底真空度为6.0×10-5Pa时,SiC/Mg周期膜反射率为43%,而本底真空度在5.0×10-4Pa时,SiC/Mg多层膜反射率仅为30%。同步辐射反射曲线拟合结果表明,反射率随着本底真空度降低是由多层膜Mg膜层中的Mg氧化物含量增多造成的。
- 朱京涛黄秋实白亮蒋晖徐敬王晓强周洪军霍同林王占山陈玲燕
- 关键词：多层膜反射率磁控溅射
- 低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术被引量：14
- 2010年
- 制备低亚表面损伤的超光滑光学基底,是获得高损伤阈值薄膜的前提条件。针对石英材料在不同加工工序中引入亚表面损伤层的差异,首先利用共焦显微成像结合光散射的层析扫描技术,对W10和W5牌号SiC磨料研磨后的亚表面缺陷进行了检测,讨论了缺陷尺寸与散射信号强度、磨料粒径与损伤层深度间的对应关系;同时,采用化学腐蚀处理技术对抛光后样品的亚表面形貌进行了刻蚀研究,分析了化学反应生成物和亚表面缺陷对刻蚀速率的影响、不同深度下亚表面缺陷的分布特征,以及均方根粗糙度与刻蚀深度间的联系。根据各道加工工艺的不同采用了相应的亚表面检测技术,由此来确定下一道加工工序,合理的去除深度,最终获得了极低亚表面损伤的超光滑光学基底。
- 马彬沈正祥张众贺鹏飞季一勤刘华松刘丹丹王占山
- 关键词：亚表面损伤层光散射化学腐蚀刻蚀速率
- M′型和M型YTaO_4电子结构和光学性质的理论研究被引量：2
- 2008年
- 采用基于第一性原理的赝势平面波方法计算了M′型和M型YTaO4的电子结构、介电函数、折射率、吸收光谱。计算结果表明:二者价带的贡献都主要来源于O2p态,导带主要由Ta5d态和Y4d态组成;M′型和M型YTaO4的静态介电常数相差较大,介电函数虚部特征峰分别对应于不同的带间跃迁;两种结构的YTaO4在紫外区的吸收带宽而强,此吸收带归属于从氧到d0电子的电荷转移跃迁。最后从带隙的角度对X射线激发下M′和M型YTaO4∶RE3+的辐射效率进行了分析,得出M′型YTaO4∶RE3+辐射效率比M型更为优越的原因之一在于其相对较窄的带隙宽度,所以在X射线CCD的应用上,M′型更为优越。
- 向东刘波顾牡方弘
- 关键词：第一性原理电子结构光学性质
- 中子超镜的优化设计被引量：6
- 2010年
- 中子超镜的主要光学性能指标是反射临界角,反射临界角通常由镍块体材料的全反射临界角的倍数m来表征。本文采用增加帽层、优化关键参数和引入新设计参数的方法,弥补了中子超镜算法在m≤1区域内的局限性,实现了包含较少膜对数K的大m值中子超镜结构设计。利用Nevot-Croce模型模拟了多层膜的非理想界面,讨论了多层膜表界面粗糙度对超镜反射特性的影响。结果表明,对m=3的Ni/Ti中子超镜仅需200个膜对,在制作工艺上,要求制备m=3的Ni/Ti超镜的膜层界面粗糙度应小于1.5 nm,以保证其反射率不低于80%。
- 张众王占山吴永荣陈玲燕
- 关键词：多层膜粗糙度
