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云南省自然科学基金(2010ZC55)

作品数:2 被引量:10H指数:2
相关作者:管伟明张俊敏谭志龙李艳琼张昆华更多>>
相关机构:贵研资源(易门)有限公司昆明贵金属研究所更多>>
发文基金:云南省自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:理学一般工业技术金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇氮含量
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇金属
  • 1篇金属材料
  • 1篇检测法
  • 1篇溅射
  • 1篇红外
  • 1篇分析化学
  • 1篇
  • 1篇
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇RU

机构

  • 1篇昆明贵金属研...
  • 1篇贵研资源(易...

作者

  • 1篇毕珺
  • 1篇王传军
  • 1篇张昆华
  • 1篇李艳琼
  • 1篇谭志龙
  • 1篇张俊敏
  • 1篇管伟明

传媒

  • 2篇贵金属

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
Ru非磁性中间层的制备及其结构研究被引量:4
2012年
以不同晶面的Si片作为基底,室温下,采用射频磁控溅射的方法制备得到Ru非磁性薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析薄膜的结构和形貌。研究不同基底材料对Ru中间层结构和形貌的影响。结果表明:以单晶Si(100)、Si(110)、Si(111)片作为基底制备的Ru薄膜均呈(002)晶面的择优取向生长;Ru-Si(100)、Ru-Si(110)和Ru-Si(111)薄膜表面均由细小的圆形晶粒组成。Si(111)面上生长的Ru薄膜表面颗粒尺寸最小,表面粗糙度最大,有利于磁记录层磁学性能的提高。
张俊敏管伟明李艳琼毕珺谭志龙王传军张昆华
关键词:金属材料射频磁控溅射
脉冲红外和热导检测法测定钌粉和钌靶中氧、氮含量被引量:6
2013年
建立了钌粉和钌靶中氧、氮含量的测定方法。研究了样品前处理、仪器条件、助熔剂选择、方法准确度和精密度等。以锡-碳作助熔剂,在选定条件下,采用脉冲红外和热导检测法,测定50×10-6氧时RSD<10%,测定40×10-6氮时RSD<25%;加标回收率:氧100%~102%,氮91%~101%。测定范围:氧0.002%~0.4%,氮0.0001%~0.02%。方法简便、快速、精密度和准确度满足质量控制要求。
刘伟刘文韩守礼贺小塘谭志龙方卫王应进杨晓滔甘建壮唐发静
关键词:分析化学氮含量
共1页<1>
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