国家自然科学基金(10505027)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 相关作者：冯涛柳襄怀江炳尧王曦任琮欣更多>>
- 相关机构：华东师范大学中国科学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信金属学及工艺更多>>
- 低能Ar离子束辅助沉积Cu、Ag、Pt薄膜被引量：1
- 2008年
- 采用低能Ar离子束辅助沉积方法,在Mo/Si(100)衬底上分别沉积Cu、Ag、Pt薄膜。实验发现,若辅助轰击的Ar离子束沿衬底法线方向入射,当离子/原子到达比为0.2时,沉积的Cu膜呈(111)晶向,而Ag、Pt膜均呈(111)和(100)混合晶向。当辅助轰击的Ar离子束偏离衬底法线方向45°入射时,沉积的Cu、Ag、Pt膜均呈(111)择优取向。采用Monte Carlo方法模拟能量为500eV的Ar离子入射单晶Ag所引起的原子级联碰撞过程,分别算得Ar离子入射单晶Ag(100)面、(111)面时,Ar离子的溅射率与入射角和方位角的关系。对离子注入的沟道效应和薄膜表面的自由能对薄膜择优取向的影响作了初步的探讨和分析。
- 江炳尧冯涛任琮欣柳襄怀
- 关键词：AG
- 离子束辅助沉积铂碳混合膜及其抑制栅电子发射性能被引量：1
- 2008年
- 采用离子束辅助沉积技术,在硅、钼衬底上分别制备铂碳混合膜。XRD的分析结果表明,当铂碳混合膜中铂的组份较多时,有较强的铂(111)面衍射峰和较弱的铂(200)面衍射峰,铂的组份呈(111)择优取向。Raman谱的分析结果表明,碳基本上呈非晶状态。模拟二极管的实验表明,在纯钼阳极上镀覆铂碳混合膜,其抑制热电子发射的性能明显优于纯钼阳极。
- 江炳尧冯涛王曦柳襄怀
- 关键词：离子束辅助沉积
- 低能Ar+离子束辅助沉积Cu、Ag、Pt薄膜
- 采用低能Ar+离子束辅助沉积方法,在Mo／Si(100)衬底上分别沉积Cu、Ag、Pt薄膜。实验发现,若辅助轰击的Ar+离子束沿衬底法线方向入射,当离子/原子的到达比为0．2时,沉积的Cu膜呈(111)晶向,而Ag、Pt...
- 江炳尧冯涛任琮欣柳襄怀
- 关键词：离子束辅助沉积
- 文献传递
- 真空高温环境下铂催化分解氧化钡研究
- ＜正＞在微波器件中铂是一种常用的栅极表面镀覆材料,用于抑制栅电子发射。模拟二极管实验表明,镀铂钼栅极的电子发射量显著少于纯钼栅极的电子发射量。在高真空的条件下,将镀铂钼栅极置于BaO气氛中进行900℃的高温处理后,采用X...
- 江炳尧冯涛柳襄怀
- 关键词：铂氧化钡
- 文献传递
