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国防科技技术预先研究基金(DJ351)
作品数:
2
被引量:14
H指数:2
相关作者:
余慧春
惠春
徐爱兰
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相关机构:
上海交通大学
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发文基金:
国防科技技术预先研究基金
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相关领域:
一般工业技术
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徐爱兰
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惠春
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余慧春
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1篇
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BST薄膜铁电移相器研究进展
被引量:12
2005年
钛酸锶钡(BST)薄膜因其具有高的介电调谐量,相对低的损耗tgδ和快的开关速度,在微波移相器的应用中显示出巨大优势。介绍了改善BST薄膜的介电性能的有效方法,衬底材料的选择,以及BST薄膜铁电移相器的结构类型和研究进展。
余慧春
徐爱兰
惠春
关键词:
微波技术
钛酸锶钡薄膜
铁电移相器
介电性能
BST溶胶及其纳米晶铁电薄膜特性研究
被引量:2
2006年
考察了在溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺中化学添加剂对钛酸锶钡(BST)溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选,制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射(XRD)表明在Pt/Cr/SiO2/Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构,AFM表面形貌显示BST薄膜表面致密、平整、无裂纹,平均晶粒尺寸约50nm。漏电流测试表明BST薄膜在0~9V的外加偏压下始终保持着较低的漏电流,在外加偏压为8.8V时,漏电流密度为2.9×10^-6A/cm^2。
余慧春
惠春
徐爱兰
关键词:
粒度分布
漏电流
铁电体
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