广东省自然科学基金(9451063201002281)
- 作品数:10 被引量:26H指数:4
- 相关作者:谢勇君刘世元史铁林严冬松左孔天更多>>
- 相关机构:暨南大学华中科技大学武汉光电国家实验室(筹)更多>>
- 发文基金:广东省自然科学基金国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域:机械工程环境科学与工程交通运输工程自然科学总论更多>>
- 机器微视觉在MEMS微结构平面运动测量中的应用
- 测量MEMS微结构的运动特性对于MEMS器件的设计与优化具有重要指导意义。利用机器微视觉技术构建了平面运动测试系统,可采集MEMS微结构运动周期内不同相位的一系列视觉图像。提出了一种改进的快速亚像素模板匹配方法,该方法首...
- 谢勇君
- 关键词:MEMS微结构
- 文献传递
- MEMS微结构离面动态测试的图像采集控制方法
- 高频高速运动清晰图像的获取是MEMS微结构离面动态测试的关键问题。在基于显微干涉技术的MEMS微结构离面动态测试系统中,提出了一种图像采集控制方法,该方法的核心内容是通过两块5MHz频率的任意波形发生卡实现激光二极管(L...
- 谢勇君
- 关键词:MEMS微结构图像采集
- 文献传递
- 基于SIMP方法微电容加速度计结构固有频率拓扑优化被引量:6
- 2011年
- 基于连续体结构拓扑优化的SIMP材料插值模型,以叉指式微电容加速度计弹性梁和质量块的一阶固有频率最大化为目标函数,以体积比作为约束条件,建立了弹性梁和质量块的拓扑优化模型。采用优化准则算法进行迭代求解计算。获得了满足不同体积约束并使一阶固有频率最大的微电容加速度计弹性梁和质量块的多种拓扑优化结构,其中28%体积比约束下的拓扑优化结构与其初始结构相比,一阶固有频率提高了3 330 Hz,提高比例达46.4%。计算结果表明通过构建的拓扑优化模型及优化求解方法可以较好地解决微加速度计频响范围过窄的问题。
- 邹春江左孔天向宇谢勇君宋洁
- 关键词:拓扑优化固有频率
- 牵引供电SCADA系统故障树分析研究被引量:2
- 2011年
- 应用灰门故障树分析方法对牵引供电SCADA系统的可靠性进行了研究。简要介绍了灰门故障树分析方法的基本理论和牵引供电SCADA系统的基本结构;建立了牵引供电SCADA系统的故障树;用概率灰数描述部件的故障概率,用灰门代替传统逻辑门来描述部件间的联系,用故障测度描述部件的故障程度。对所建立的故障树进行了定量的计算。结果表明,应用灰门故障树分析方法的计算结果是可行有效的。
- 严冬松黄元亮钱清泉
- 关键词:故障树分析灰色系统可靠性分析SCADA系统
- 微/纳结构三维形貌高精度测试系统被引量:4
- 2010年
- 为实现微/纳结构三维形貌的高精度测量,提出利用显微干涉技术和偏振技术相结合的方法来研制微/纳结构三维形貌亚纳米级精度测试系统。首先,利用五步相移干涉技术采集5幅带有π/2相移增量的干涉条纹图。然后,通过Hariharan五步相移算法得到包裹相位图。最后,利用分割线相位去包裹算法和相位高度关系转换得到微/纳结构三维形貌。在测试过程中通过偏振片产生强度可调的线偏振光,再由1/2波片改变偏振光在分光镜中的分光比,补偿参考镜与试件的反射性能差异,可得到亮度适中且对比度高的干涉条纹图,从而有利于实现微/纳结构三维形貌的高精度测量。系统的轮廓算术平均偏差Ra的重复测量精度可达0.06nm,最大示值误差不到±1%,示值变动性不到0.5%。通过对标准多刻线样板、硅微麦克风膜和硅微陀螺仪折叠梁的三维形貌测量验证了系统的有效性和实用性。
- 谢勇君史铁林刘世元
- 关键词:显微干涉三维形貌
- 牵引供电扩能系统的仿真
- 应用综合补偿技术是牵引供电扩能的最佳方法,本文采用基于列车牵引计算的仿真方法,针对增设不同的扩能补偿设备,结合半定量分析方法对补偿设备的安装位置和投切容量等参数选取,有效的控制策略的选择等建立了牵引供电扩能仿真系统,通过...
- 严冬松黄元亮姚永刚
- 关键词:牵引供电系统仿真扩能无功补偿
- 基于条纹图的微结构离面运动特性测量
- 2010年
- 为了测量微结构离面(Out—of—plane)运动特性,利用频闪显微干涉技术设计研制了微结构离面运动测试系统,首先采集微结构运动周期内不同时刻的一系列干涉条纹图,并通过SUSAN滤波算法对各干涉条纹图进行降噪处理,再利用5步相移算法从干涉条纹图中提取被测微结构的相位信息得到包裹相位的锯齿型条纹图,并采用质量导向图法进行去包裹处理,最后根据相位高度关系式可得到被测微结构运动周期内不同时刻的形貌图及其离面运动曲线。通过实验对正弦基础激励下硅微悬臂梁的离面振动响应进行了有效测量,且测量重复性小于10nm。
- 谢勇君史铁林刘世元
- 关键词:微结构
- 微电容加速度计结构的热固耦合拓扑优化被引量:2
- 2010年
- 基于连续体结构拓扑优化的SIMP材料插值模型,建立了热固耦合场结构的有限元控制方程;通过伴随矩阵方法,研究了热固耦合场的敏度分析问题;以叉指式微电容加速度计质量块受热膨胀后,在加速度检测方向的最大形变不大于某一给定值为目标,以质量块的体积比为约束条件,建立了质量块结构的热固耦合拓扑优化模型;采用优化准则算法进行迭代求解后,得到了微电容加速度计质量块的最优拓扑形式,当工作温度在0~300℃范围内变化时,该拓扑形式在加速度检测方向的最大形变仅为23.9nm。
- 谢勇君严冬松陈焕远刘浩李景明
- 关键词:拓扑优化
- 基于Matlab的铁路环境噪声模糊评价被引量:7
- 2011年
- 由于某种铁路环境噪声模糊评价方法存在应用的局限性,采用改进的相对隶属度建立指标隶属度模糊矩阵对原方法进行改进。依据模糊数学原理,由改进的实测值隶属度模糊矩阵、改进的指标标准值模糊矩阵和指标权重向量计算得到最优相对隶属度矩阵。由最优相对隶属度矩阵提取级别特征值,得到评价结果。根据铁路环境噪声模糊综合评价步骤,基于Matlab语言,开发铁路环境噪声模糊评价软件。以3个居民小区为例,采用评价软件进行评价。结果表明:第1和第3居民小区受铁路噪声污染程度为轻度污染,第2居民小区受铁路噪声污染程度为中度污染。
- 严冬松黄元亮
- 关键词:环境噪声噪声评价噪声污染级别特征值MATLAB软件
- 基于协调同步控制的MEMS微运动测量被引量:4
- 2010年
- 为协调有效地利用频闪成像、显微视觉和相移干涉技术实现微机电系统(MEMS,micro-electro-me-chanical systems)微运动的可靠测量,提出了一种改进的协调同步控制方法,该方法通过2块5 MHz频率的任意波形发生卡实现激光二极管(LD,laser diode)脉冲信号和MEMS激励信号的同频率相对延时,最小延时增量可达0.3 ns,最小脉冲宽度可达10 ns。基于该方法构建的测试系统可实现MEMS的离面(out-of-plane)和面内(in-plane)微运动的自动测量。通过对硅微悬臂梁离面振动以及硅微谐振器阵列面内振动的实验测量验证了新协调同步控制方法的有效性和实用性,其中离面微运动测量重复性误差小于10 nm,面内微运动测量重复性误差小于25 nm。
- 谢勇君史铁林刘世元
- 关键词:MEMS