国家自然科学基金(61274108)
- 作品数：6 被引量：18H指数：3
- 相关作者：胡松赵立新严伟蒋薇李金龙更多>>
- 相关机构：中国科学院中国科学院大学四川大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>
- 双工件台光刻机中的焦面控制技术被引量：6
- 2012年
- 面对可用焦深日益缩短的趋势,高精度的焦面控制技术显得尤为重要。针对双工件台光刻机中采用的焦面控制技术,介绍了基于偏振调制的光栅检焦技术及其测量原理,研究了双工件台光刻机中的调平调焦技术。基于平面拟合、最小二乘法及坐标变换公式推导了曝光狭缝内离焦量计算公式;研究了一种离焦量解耦算法,该算法将曝光狭缝内离焦量解耦为调平调焦机构三个压电陶瓷的独立控制量,并使狭缝曝光场中心在调平调焦运动过程中不发生平移。经仿真分析表明,该算法可用于调平调焦精度优于10nm的高精度调焦调平系统,能满足线宽小于100nm投影步进扫描光刻机的需要。
- 李金龙胡松赵立新
- 关键词：光学器件光刻术
- 基于人机工程学的光刻机嵌入式控制面板界面设计被引量：1
- 2014年
- 基于人机工程学的研究方法,以光刻机嵌入式控制面板的人机信息交互作为设计切入点,结合工程实践分析了控制面板显示器和控制器在使用时的特点,探讨了光刻机控制面板在界面设计中应遵循的原则。在此基础上,设计了一套可行的光刻机嵌入式控制面板。
- 蒋薇蒲小琼陈军赵立新胡松
- 关键词：控制面板人机界面光刻机人机工程学
- 基于CAN总线的运动控制通讯系统设计被引量：3
- 2015年
- 数字量驱动的运动控制要求通讯系统具有良好的实时性和可靠性;设计了一种基于CAN总线的多节点多通道的运动控制通讯系统,以FPGA为节点控制器,通过SJA1000收发运动控制数据,并行发送到各通道驱动器的数模转换器中;FPGA模块由Verilog HDL编写,通过参数传递和生成块的方法简化代码,提高系统的可移植性,移植时只需改变两个常量值即可适应各个节点不同的通道数和位宽;实验表明,通讯系统每帧耗时约120μs,最高帧频可达8.5 kHz,误码率低于10^(-8),实时性和可靠性较好。
- 马驰飞严伟胡松
- 关键词：CAN总线FPGASJA1000运动控制
- 基于线阵CCD的高速光刻检焦技术被引量：3
- 2015年
- 随着光学投影光刻分辨力的提高,投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深,一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键,检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集携带有硅片离焦量信息的光强信号,并在计算机上进行图像处理完成检焦。该方法处理速度慢,难以满足实时调焦的要求。鉴于此,提出了一种用线阵CCD采集图像,以FPGA为处理器的检焦方法。该方法利用线阵CCD的高速性和FPGA的并行性,结合多项式插值的亚像素边缘检测算法,能够高速实时检测硅片离焦量;同时,FPGA通过驱动电机控制工件台运动对离焦量进行补偿,形成一个实时闭环的调焦系统,减少了原有的计算机环节,具有高速度、高分辨率、低功耗、低成本的特点。
- 陈昌龙邸成良唐小萍胡松
- 关键词：光刻FPGA线阵CCD
- 光刻机智能控制系统设计被引量：4
- 2013年
- 随着光刻工艺要求的提升,光刻机自动化和智能化的要求程度越来越高。基于传统工控机的光刻机在很大程度上解决了这个问题,但该设计体积大,功耗高,震动大,且人机交互性不强,多路实时监控难以集成。鉴于此,设计了一种基于平板电脑的光刻机控制设备,该设备由平板工控机、图像采集卡和运动控制板卡构成,通过USB和串口进行通信。其中平板工控机以嵌入式处理器S3C2440作为核心,图像采集卡以FPGA芯片EP2C8Q208C8为核心,运动控制板卡以单片机AT89C52为核心。运行时,图像采集卡首先对视频图像进行预处理,接着将其传输至平板工控机进行数据处理和显示,用户通过控制终端进行操作,最后由运动控制卡完成相应的动作。该设备将现在流行的平板电脑技术与光刻机相结合,实现了光刻机的智能化控制和在线资源共享,使光刻机更加智能化和现代化。
- 王楠蒋薇严伟胡松
- 关键词：光刻机FPGAARM智能控制
- 基于干涉的同轴检焦新方法被引量：1
- 2013年
- 针对现有离轴检焦技术在浸没式光刻方法中的局限性,提出了一种新的基于干涉的同轴检焦方法。测量光通过光刻物镜入射到硅片表面,在硅片表面反射后再次经过光刻物镜后,测量光和参考光产生干涉条纹,并被CCD接收,从而将硅片的离焦量信息调制在干涉条纹的相位信息中。通过对干涉条纹的相位提取,即可获得硅片的离焦量。仿真结果表明,该方法可以达到λ/25(λ=632.8nm)的检焦精度,并具有良好的抗噪性,满足浸没式光刻高精度、实时、非接触焦面测量的要求。
- 李光朱江平陈铭勇赵立新胡松段宣明
- 关键词：傅里叶变换离焦量
