中南民族大学自然科学基金(YZY06003)
- 作品数：4 被引量：13H指数：2
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- MEMS微变形镜测试技术及算法研究被引量：1
- 2012年
- 介绍了基于计算机控制的频闪显微干涉测量技术,实现了对MEMS微变形镜的表面形貌、离面变形、静态电压-位移曲线和谐振频率的测量。采用频闪成像、计算机微视觉技术以及基于最小二乘曲面拟合法的亚像素定位技术实现了对平面内微位移的测量;利用频闪成像以及5步相移干涉技术实现了对干涉相位的提取,建立了适合于MEMS微变形镜特性测试的相位解缠算法,恢复了代表被测物体表面形貌的真实相位,实现了微变形镜静动态特性的测试。测试结果表明:频闪显微相移干涉测量技术具有测量速度快、精度高、易实现自动控制等特点。
- 陈家凤肖风华
- 关键词：光学测量微变形镜亚像素定位相位解缠
- 基于多重网格法的相位解缠算法被引量：4
- 2007年
- 指出了最小二乘相位解缠算法是求解二维相位解缠问题最稳健的方法之一,并可等效为求解一大型的稀疏线性方程系统.求解大型线性方程组通常采用迭代法,然而其收敛速度非常慢.为了改善收敛特性,提出了一种新的相位解缠算法——多重网格法,该方法通过在疏密不同的网格层上进行迭代,以平滑不同频率的误差分量,从而加快系统的收敛速度.仿真实验表明:该方法能够很好地恢复真实相位,具有解缠精度高,收敛速度快等优点.
- 陈家凤
- 关键词：光学测量最小二乘法相位解缠收敛速度多重网格法
- 基于小波变换的加权最小二乘相位解缠算法被引量：9
- 2008年
- 提出了一种求解加权最小二乘相位解缠问题的新算法,采用相位导数方差相关图定义了相位数据的初始权重,给出了利用多分辨率小波变换进行相位解缠的具体实现方法。利用离散小波变换,将原线性系统转化成具有较好收敛条件的等价新系统,通过独立求解新系统中的低频部分,加快了系统的收敛速度。仿真实验表明:该算法具有收敛速度快、解缠效果好等特点。
- 陈家凤陈海清
- 关键词：光学测量相位解缠加权最小二乘法
- MEMS变形反射镜主要特性测试被引量：1
- 2009年
- 介绍了基于微机电系统技术的微变形反射镜的基本结构和电极分布.分析了微机系统变形镜的变形原理,推导了微变形镜的镜面变形与外加驱动电压的关系.分析了基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统的组成及测试原理,并利用该系统实现了对微变形镜静态电压-位移曲线、静态面形、动态离面变形以及谐振频率的测试.实验表明,测试结果与理论分析有很好的一致性.
- 陈家凤陈海清
- 关键词：光学测量
