江苏省高校自然科学研究项目(07KJA46003)
- 作品数：4 被引量：39H指数：3
- 相关作者：袁冬青周明沈坚蔡兰戴娟更多>>
- 相关机构：江苏大学更多>>
- 发文基金：江苏省高校自然科学研究项目国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信金属学及工艺机械工程更多>>
- 飞秒激光微加工Au膜被引量：6
- 2009年
- 飞秒激光微加工薄膜对于MEMS设备的制造是一个急需的技术。文章使用波长为775nm的Ti:sapphire飞秒激光器(脉宽约为130fs,频率为1000Hz)研究厚度为4μm的Au薄膜,在不同加工参数下的结构特性,发现单脉冲消融时消融直径随着脉冲能量的增大而增大。当单脉冲能量一定时,消融直径随着脉冲的个数变化不大。计算得到Au膜的单脉冲消融阈值为Fth=0.7J.cm-2,使用脉冲能量略大于阈值时,在薄膜上所划出的线为凸起状;当超过阈值时所得直线为凹起状。同时发现在脉冲能量一定时所得线宽随着加工速度的增加而减小;当加工速度一定时线宽随着能量的增加而增大。
- 袁冬青周明蔡兰沈坚
- 关键词：飞秒微加工
- 激光感生击穿光谱技术(LIBS)的原理及影响因素被引量：20
- 2008年
- 激光感生击穿光谱技术(LIBS)具有不需制备样品,快速分析,可进行实时控制的特点显示了巨大实际应用价值,文中介绍了激光感生击穿光谱技术(LIBS)的发展历史、研究现状及其原理。同时通过重复频率为20Hz,最高单脉冲能量为50mJ的纳秒激光(10ns,1064nm)研究了在不同激发条件下Cr和Co薄膜产生的光谱信号。得出对于Cr膜当激发能量小于10mJ时,信号差异不明显。但是当激发能量超过10mJ时将产生明显的变化。分析了激光特性、延迟时间、实验装置、环境气体的种类及压力、单/双脉冲、以及采用的理论分析方法对LIBS探测结果的影响。
- 袁冬青周明刘长隆言峰戴娟任乃飞
- 关键词：等离子体飞秒纳秒影响因素
- 飞秒激光辐射诱导金属表面微纳结构研究被引量：12
- 2009年
- 通过1 kHz的飞秒脉冲(脉宽130 fs,中心波长800 nm)对厚度为60μm的不锈钢65Mn表面进行飞秒微加工,通过拟合得到65Mn的消融阈值为0.5 J.cm-2。研究了飞秒激光作用下表面形成的多种微结构,其中包括纳米孔及纳米柱状物。同时讨论了激光能量和作用脉冲个数对微结构形成的影响。随着周期波纹结构的形成,发现在各种能量和脉冲个数条件下,周期结构的周期约为入射脉冲的波长。相同的激光功率下,在不同加工速度和加工次数下对不锈钢进行表面微加工,得到了规则的圆孔阵列结构。
- 周明袁冬青李健范晓萌戴娟沈坚王辉李保家蔡兰
- 关键词：飞秒激光微加工表面形貌
- 激光诱导等离子体技术(LIBS)在金薄膜加工微检测中的应用研究被引量：3
- 2008年
- 薄膜材料微加工是微纳技术、微机电系统、光电子领域的核心技术。文章提出了针对薄膜加工时缺乏有效的质量控制手段,应用激光诱导等离子体(LIBS)技术进行过程表征的方法。研究了脉冲激光微加工过程中等离子体量与激发条件的关系。得出了在低频(<20Hz)和在确定能量水平条件下,等离子体量相对稳定,不依赖于脉冲次数。在单脉冲条件下,激发等离子体量随着能量的升高而增加。根据等离子体量和元素类别可实现对微加工过程去除量进行实时表征。
- 袁冬青周明沈坚任乃飞蔡兰
- 关键词：LIBS等离子体微加工实时控制
