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国家科技支撑计划(2006BAE01A08-05)

作品数：1 被引量：11H指数：1
相关作者：李和平包成玉王森李果更多>>
相关机构：清华大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金北京市科委项目国家科技支撑计划更多>>
相关领域：电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇低温等离子体
  • 1篇电极
  • 1篇射频
  • 1篇金属
  • 1篇金属电极
  • 1篇辉光
  • 1篇辉光放电
  • 1篇大气压

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇李果
  • 1篇王森
  • 1篇包成玉
  • 1篇李和平

传媒

  • 1篇科技导报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
裸露金属电极大气压射频辉光放电研究进展被引量：11
2009年
射频大气压辉光放电等离子体在等离子体辅助刻蚀、薄膜沉积、消毒灭菌、空气净化、战地生化清洗等领域有着非常广阔的应用前景。目前,采用具有裸露金属电极结构的等离子体发生器实现大气压条件下氮气、氧气以及空气等廉价气体的稳定射频辉光放电是一项具有挑战性的研究工作。本文以采用诱导气体放电法和局部电场强化法产生纯氮、纯氧及空气的大气压射频辉光放电等离子体以及大气环境下气体流动对等离子体放电特性的影响为重点,综述了裸露金属电极结构的大气压射频辉光放电等离子体电特性实验研究的最新进展。
李和平李果王森包成玉
关键词：大气压射频辉光放电低温等离子体
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