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北京市自然科学基金(2082014)

作品数：2 被引量：0H指数：0
相关作者：王力元王争刘娟黎莹程龙更多>>
相关机构：北京师范大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程理学更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇化学工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇酸解
  • 1篇酸酯
  • 1篇热敏CTP版
  • 1篇量子效率
  • 1篇聚甲基丙烯酸
  • 1篇聚甲基丙烯酸...
  • 1篇抗蚀剂
  • 1篇甲基
  • 1篇甲基丙烯
  • 1篇甲基丙烯酸
  • 1篇甲基丙烯酸酯
  • 1篇光产酸剂
  • 1篇光解
  • 1篇光致
  • 1篇光致抗蚀剂
  • 1篇丙烯
  • 1篇丙烯酸
  • 1篇丙烯酸酯
  • 1篇成像材料

机构

  • 2篇北京师范大学

作者

  • 2篇王力元
  • 1篇程龙
  • 1篇黎莹
  • 1篇刘娟
  • 1篇王争

传媒

  • 2篇影像技术

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
基于酸解型聚甲基丙烯酸酯的化学增幅成像材料及应用
2009年
甲基丙烯酸分别与乙烯基乙基醚和二氢吡喃反应得到羧基被保护的酯化物。这些甲基丙烯酸酯单体进行均聚并分别与甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸-2-羟乙酯进行二元共聚。这些聚合物的保护基具有在室温下的高酸解活性,可以和产酸剂(三嗪化合物)、酚醛树脂一起组成化学增幅型感光成像材料,可用作i-线光致抗蚀剂和高感度PS版感光剂,其感度在100mj/cm2以下。此感光体系中加入红外染料即可用作热敏CTP版材成像材料。都获得了很好的成像表现。
黎莹程龙王力元
关键词：甲基丙烯酸酯酸解热敏CTP版
几种硫鎓盐类光产酸剂的合成与性质
2011年
硫鎓盐类光产酸剂因其较高的产酸效率和好的热稳定性而广泛应用于化学增幅光致抗蚀剂中。本论文选择不同的酚化合物为原料,使之与二甲基亚砜和氯化氢反应,合成了一系列硫鎓盐化合物,研究了其在有机溶剂中的溶解性、热稳定性、紫外吸收性质及其光解特性。以低压汞灯为曝光光源,测定了该类光产酸剂的光解量子效率在0.2—0.7范围。
刘娟王争王力元
关键词：光产酸剂光致抗蚀剂光解量子效率
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