国家自然科学基金(69876027)
- 作品数：7 被引量：58H指数：4
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- 基于PGMA磁微球的纳米机械免疫传感器的片上磁分离
- 2008年
- 应用具有磁性和抗体双重靶向功能的聚甲基丙烯酸环氧丙酯磁微球,设计出新型微悬臂梁式免疫传感器,借助微平面电感线圈,实现在液相环境中,加电流时磁微球吸附,去电流时磁性微球解析并重新分布,解决传统微悬臂梁式免疫传感器的不足.着重研究片上磁分离机理,梁上微电感线圈结构,微磁场对磁微球的吸引,设计并优化出满足新型微悬臂梁式免疫传感器所需线长200μm、宽10μm、线间距厚10μm、1μm的钛金材料蛇形微平面电感线圈.通过生物磁分离实验,验证了设计及优化的结果,实现了用于生物分子分离的片上磁分离技术.
- 高鹏姚素英常津李二茂王伟才
- 关键词：免疫传感器
- 多晶硅高温压力传感器的温度特性被引量：2
- 2002年
- 讨论了改善多晶硅高温压力传感器温度特性的 3种措施 :用四甲基氢氧化铵溶液代替氢氧化钾溶液作硅杯各向异性腐蚀剂 ;优化多晶硅压敏电阻的掺杂浓度 ,实现传感器灵敏度温度漂移自补偿 ;在传感器芯片上加做温敏电阻 ,通过调节激励源的温度特性 ,进一步减小传感器灵敏度温度系数 .采用以上措施 ,使多晶硅压力传感器有良好的高温稳定性 ,灵敏度温度系数绝对值小于 2× 10 -4/℃ .
- 张为姚素英张生才曲宏伟刘艳艳张维新
- 关键词：多晶硅压力传感器温度特性
- 高温压力传感器现状与展望被引量：22
- 2002年
- 论述了多晶硅、SOI(绝缘体上硅 )、碳化硅、SOS(蓝宝石上硅 )、石英、溅射合金薄膜、陶瓷厚膜和光纤等高温压力传感器的基本结构、工作原理、特点及研究现状 ,展望了压力传感器的未来。
- 张为姚素英张生才刘艳艳曲宏伟
- 关键词：高温压力传感器多晶硅SOI碳化硅石英晶体
- 多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术被引量：16
- 2003年
- 列举了几种多晶硅高温压力传感器的热灵敏度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点。对采用多晶硅热敏电阻器进行补偿的两种补偿方法进行了详细地分析和测试。实验表明,这两种补偿法更适用于多晶硅压力传感器。
- 罗秦川张生才姚素英张为曲宏伟
- 关键词：多晶硅压力传感器热灵敏度漂移温度补偿
- 高温压力传感器温度特性的芯片内补偿技术被引量：3
- 2002年
- 本文在分析、测试多晶硅高温压力传感器温度特性的基础上 ,提出了一种新的改善传感器温度特性的措施。通过在压力传感器芯片上集成低阻值的多晶硅电阻网络与温度传感器 ,不仅可以很好的补偿传感器的零点温漂 ,也可以借助传感器信号处理单元 ,方便地实现对灵敏度温度系数的补偿。经补偿 ,传感器的零点温漂达到 1× 10 -4/℃ ,灵敏度温漂小于 -2× 10 -4/℃。实验表明 :该方法的补偿温区宽 ,通用性强 。
- 曲宏伟姚素英张生才赵毅强张为
- 关键词：温度特性灵敏度温度补偿
- 高性能高温压力传感器被引量：9
- 2001年
- 研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术：各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿。通过研 究四甲基氢氧化铵（ＴＭＡＨ）腐蚀液特性，及在不同腐蚀条件下硅杯表面状况，确定了制作高质量硅杯的工艺 条件。通过优化掺杂浓度，改善了传感器的温度特性，基本上实现自补偿。测试结果表明，多晶硅压力传感器 综合精度达０．ｌ％～０．２％ＦＳ，灵敏度温度系数绝对值小于３ × １０－４／℃，有广阔的应用前景。
- 刘艳艳姚素英张生才张维新毛赣如曲宏伟
- 关键词：TMAH各向异性腐蚀高温压力传感器
- 四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用被引量：9
- 2001年
- 通过各向异性腐蚀硅杯实验 ,研究了四甲基氢氧化铵 ( TMAH)腐蚀液的特性 ,包括硅( 1 0 0 )面腐蚀速率与溶液浓度、温度的关系 ,不同腐蚀条件下硅杯的表面状况 ,并确定了制作硅杯的最佳工艺条件。通过测试硅杯结构多晶硅压力传感器的输出特性 ,证明了
- 张为姚素英刘艳艳王涌萍阎富兰田莉萍牛秀文
- 关键词：各向异性腐蚀微机电系统四甲基氢氧化铵
