国家高技术研究发展计划(2005AA404210)
- 作品数：13 被引量：37H指数：4
- 相关作者：陈大鹏叶甜春欧毅焦斌斌黄钦文更多>>
- 相关机构：中国科学院微电子研究所中国科学技术大学北京信息技术应用研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关被引量：3
- 2007年
- RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单晶硅梁的推拉式静电RFMEMS开关结构,能够解决静电RFMEMS现有的缺陷。
- 刘茂哲景玉鹏李全宝焦斌斌黄钦文李超波欧毅陈大鹏叶甜春
- 关键词：射频微机械开关静电驱动
- 电磁驱动RFMEMS开关的研究状况被引量：2
- 2007年
- RFMEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力,作为其核心器件的RFMEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RFMEMS开关具有工作电压比较低,驱动力大,可以工作在恶劣的环境等优点,使其成为近年来RFMEMS开关研究的一个热点。
- 李全宝景玉鹏刘茂哲陈大鹏欧毅马瑾叶甜春
- 关键词：MEMS技术MEMS开关电磁驱动工作电压驱动力
- 应用于流动控制的MEMS传感器和执行器被引量：2
- 2006年
- 出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器。这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)。这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域。利用MEMS技术设计和制作了一种传感器和一种执行器。实验证明,采用体硅腐蚀的工艺制作微流体器件是可行的,同时可以避免牺牲层腐蚀和释放的复杂工艺。
- 欧毅白宏磊石莎莉焦斌斌李超波黄钦文董立军景玉鹏陈大鹏叶甜春申功
- 关键词：流体
- 基于微悬臂梁结构的生化传感器被引量：4
- 2006年
- 微悬臂梁是一种结构简单、易于进行微加工以及大量生产的传感器结构。当分子吸附在微悬臂梁表面之后,微悬臂来的弯曲以及振荡频率都会发生变化,这使微悬臂梁在化学和生物的实时探测方面非常具有吸引力。采用光学方法探测微悬臂梁的偏转;比较了不同的悬臂梁结构在流体中的稳定性以及不同结构的反光部分的反光效果,并将悬臂梁用于研究PNIPAM分子构象随温度的转变.
- 黄钦文陈大鹏叶甜春欧毅张青川李凯
- 关键词：微悬臂梁传感器表面应力
- MEMS中的薄膜制造技术被引量：1
- 2006年
- 追述了薄膜淀积技术的历史,按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比,介绍了相应的理论研究概况,除了电镀技术之外,MEMS技术基本来自传统的IC制造工艺。
- 董立军陈大鹏欧毅黄钦文石莎莉焦斌斌李超波杨清华叶甜春
- 关键词：微机电系统PVDCVD电镀
- 日本近年RF MEMS开关研究的进展被引量：5
- 2006年
- RFMEMS是射频表面微机械系统简称。射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感。射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动。由于这一研究的高频化和高精度的特点,目前开关的研究集中在静电驱动的方式的研究上,从上市的产品来看,静电驱动是最有希望的RFMEMS的执行机构。静电执行器驱动的RFMEMS开关成为下一代高频通讯中的关键部件。
- 景玉鹏黄钦文石莎莉焦斌斌李超波董立军杨清华欧毅陈大鹏叶甜春
- 关键词：高频开关高频继电器
- 基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状
- 2007年
- 非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注。一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来。介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究现状,最后展望了其发展前景。
- 史海涛欧毅陈大鹏张青川伍小平焦斌斌李超波罗小光由春娟
- 关键词：非制冷红外成像MEMS光学读出
- MEMS器件牺牲层腐蚀释放技术研究被引量：7
- 2006年
- 以非制冷红外焦平面阵列和热剪切应力传感器为代表,分析了这两种典型的薄膜悬浮结构和带空腔结构的MEMS器件在进行二氧化硅牺牲层的腐蚀和最终结构释放过程中的各种问题。根据二氧化硅的腐蚀机理,指导了对腐蚀孔(槽)的设计,通过测量不同条件下的腐蚀速度,得出升温、超声、适时更换腐蚀液是加快腐蚀速度的方法,基于粘连现象中拉起长度的概念,提出基于硅衬底下突点制作及释放牺牲层的方法,并获得了成功释放。
- 石莎莉陈大鹏丁德勇欧毅景玉鹏董立军叶甜春
- 关键词：MEMS牺牲层升华
- 氧气吸附对碳纳米管电子特性的影响被引量：1
- 2007年
- 碳纳米管暴露在空气中会引起其电子特性的改变.使用微电子工艺在硅衬底上制备出生长碳纳米管的阵列图形,使用热CVD法实现碳纳米管在硅平面上的定点生长.研究了不同温度下空气氛围对多壁碳纳米管电子特性的影响.实验结果表明,空气中的水分子和氧气都会影响碳纳米管的电子特性.在室温环境中,水分子对碳纳米管电子特性的影响起主要作用,随着环境温度的升高,氧气对碳纳米管电学性质的变化起主要作用.
- 黄钦文吴军陈大鹏陈永胜叶甜春
- 关键词：碳纳米管气体传感器化学气相淀积
- 基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列被引量：8
- 2006年
- 选用Au和LPCVD的低应力Si Nx薄膜材料,采用MEMS技术研制了新型间隔镀金热隔离结构的薄膜镂空式非制冷红外成像焦平面阵列,并应用光学读出的方法成功地在室温(27.47℃)背景下获得了人体的热像.实验证明间隔镀金热隔离结构的引入有效抑制了热传导对变形梁温升的限制,从而大大降低了系统的噪声等效温度差(NETD),NETD达到约200mK.
- 李超波焦斌斌石莎莉叶甜春陈大鹏张青川郭哲颖董凤良伍小平
- 关键词：微机械焦平面阵列光力学低压化学气相淀积氮化硅
