您的位置： 专家智库 > >

国家高技术研究发展计划(2006AA04Z325)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：沈宏伟张传维顾华勇刘世元更多>>
相关机构：华中科技大学武汉光电国家实验室更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇动态随机存储...
  • 1篇随机存储器
  • 1篇傅里叶
  • 1篇傅里叶变换
  • 1篇DRAM
  • 1篇存储器

机构

  • 1篇华中科技大学
  • 1篇武汉光电国家...

作者

  • 1篇刘世元
  • 1篇顾华勇
  • 1篇张传维
  • 1篇沈宏伟

传媒

  • 1篇光谱学与光谱...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究被引量：2
2009年
提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高了信噪比。对DRAM深沟槽样品进行反射光谱图测试与实验研究,表明所述方法与系统能够提取出纳米级精度的深沟槽参数。该技术提供了一种无接触、非破坏、快速、低成本和高精度的深沟槽结构测量新途径,在集成电路制造过程中的在线监测与工艺控制方面具有广阔的应用前景。
刘世元张传维沈宏伟顾华勇
关键词：动态随机存储器
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0