国家高技术研究发展计划(2006AA12Z139)
- 作品数：8 被引量：25H指数：3
- 相关作者：王占山朱京涛陈玲燕王晓强徐敬更多>>
- 相关机构：同济大学天津津航技术物理研究所中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术更多>>
- Mo/Si多层膜表面保护层设计
- 为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,研究Mo/Si多层膜表面保护层设计。通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最高。计算表明,一定厚度的表面保护层总对应一个...
- 徐达朱京涛张众王风丽王晓强王洪昌蒋励佘仕凤王占山秦树基陈玲燕
- 关键词：薄膜光学多层膜反射率
- 文献传递
- 不同本底真空度下SiC/Mg极紫外多层膜的制备和测试被引量：8
- 2009年
- 为研究不同本底真空度对SiC/Mg极紫外多层膜光学性能的影响,利用直流磁控溅射方法在不同本底真空度条件下制备了峰值反射波长在30.4nm的SiC/Mg周期膜。X射线掠入射反射测试结果表明,不同本底真空度条件下制备的SiC/Mg周期多层膜膜层质量有明显差异。用同步辐射测试了SiC/Mg多层膜在工作波长处的反射率,结果表明,本底真空度为6.0×10-5Pa时,SiC/Mg周期膜反射率为43%,而本底真空度在5.0×10-4Pa时,SiC/Mg多层膜反射率仅为30%。同步辐射反射曲线拟合结果表明,反射率随着本底真空度降低是由多层膜Mg膜层中的Mg氧化物含量增多造成的。
- 朱京涛黄秋实白亮蒋晖徐敬王晓强周洪军霍同林王占山陈玲燕
- 关键词：多层膜反射率磁控溅射
- 极紫外与X射线波段正入射两镜反射系统的研究(英文)
- 2009年
- 基于三级象差理论,分析了几何象差对正入射望远镜性能的影响,总结了弥散斑角宽度θ随着系统f数和半视场角uP的变化趋势.弥散斑的角宽度θ随着半视场角uP的增大而增大,随着系统f数的增大而减小.当f数小于10或者半视场角uP大于0.005弧度时,弥散斑角宽度θ变化比较剧烈.详细讨论了四种典型的反射系统,Dall-Kirkham系统和反Dall-Kirkham系统的弥散斑角宽尺寸在一个数量级上,大约为卡塞格林系统的十倍.R-C系统的弥散斑角宽最小,几乎是卡塞格林系统的十分之一.通过本文的结论公式可以估算一个光学系统的象差尺寸并避免进行光线追迹.
- 沈正祥穆宝忠王占山王利马彬季一勤刘华松
- 30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜被引量：4
- 2009年
- 太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多层膜,采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg,B_4C/Mg和C/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的结构。研究表明虽然B_4C/Mg多层膜理论反射率最高,但实际制备结果显示,SiC/Mg多层膜的成膜质量最好,反射率最高。同步辐射反射率测量表明:在入射角10°时实测的SiC/Mg多层膜反射率为44.6%。
- 白亮朱京涛徐敬黄秋实吴文娟王晓强王占山陈玲燕
- 关键词：薄膜光学多层膜磁控溅射极紫外反射率
- 小波变换表征多层膜氧化层、界面层和膜厚漂移被引量：1
- 2009年
- 用小波变换的方法分析了纳米多层膜的X射线掠入射反射率测试曲线.从小波变换的自相关函数峰位和峰强度信息中得到了常规曲线拟合方法难以表征的含有氧化层、界面层或厚度漂移的多层膜结构,利用其作为多层膜的初始结构再进行常规的曲线拟合,可实现多层膜结构精确表征的目的.研究成功地鉴别出钒单层膜的表面存在约3 nm厚的氧化层,分析得到Mo/Si多层膜的界面纯粗糙度约0.42 nm,表明在Ni/C多层膜中接近表面和基底的膜层存在大于5%的厚度漂移.
- 蒋晖徐敬朱京涛潘磊代敏谭默言王占山陈玲燕
- 关键词：薄膜光学纳米多层膜小波变换自相关函数氧化层界面粗糙度
- Mo/Si多层膜表面保护层设计被引量：3
- 2009年
- 为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最高.计算表明,一定厚度的表面保护层总对应一个最优的最上层材料厚度.在13.36nm波长,膜对数为50的Mo/Si多层膜10度入射的理论反射率为74.47%;当添加厚度为2.3nm的Ru作为表面保护层,对应多层膜最上层Si的优化厚度为3.93nm,其理论反射率为75.20%.设计结果表明,通过优化设计表面保护层,可以提高多层膜稳定性,改善多层膜性能.
- 徐达朱京涛张众王风丽王晓强王洪昌蒋励佘仕凤王占山秦树基陈玲燕
- 关键词：薄膜光学多层膜反射率
- 两镜反射系统的初始结构求解方法(英文)
- 2008年
- 基于三级像差理论提出了一个求解两镜反射系统的初始结构的方法。在仅仅知道系统的焦距长度f,两镜之间的间隔d和后工作距离l2′时,利用该方法能够方便而有效地计算出系统的初始结构参数。该方法的显著优点是以两镜之间的距离作为求解系统初始结构的条件,在系统的几何尺寸受到限制时,非常方便和有效。同时,由已知参数可以方便地计算主镜遮拦比和次镜放大率。最后分析了4种典型的两镜反射系统,并给出了设计实例,结果表明,此方法是相当精确的。
- 沈正祥穆宝忠王占山王利马彬季一勤刘华松
- 关键词：三级像差理论几何尺寸
- 极紫外啁啾多层膜反射镜产生亚飞秒脉冲的研究
- 超短超强激光与稀有气体相互作用产生高次谐波获取亚飞秒脉冲是近年来超短超快光学的研究热点之一,具有谐波选择和啁啾补偿作用的极紫外啁啾多层膜反射镜是产生亚飞秒脉冲的有效元件。本文阐述了运用极紫外啁啾多层膜反射镜由高次谐波得到...
- 陈锐王风丽王占山
- 关键词：极紫外遗传算法
- 文献传递
- 用傅里叶变换方法实现的纳米多层膜性能表征被引量：1
- 2009年
- 利用傅里叶变换(FFT)分析了纳米多层膜的X射线掠入射反射率测试曲线,模拟了各种制备和测试条件对多层膜结构参数测试结果的影响,检验了傅里叶变换方法的适用性和精确度。分析结果表明,相对于传统的反射曲线拟合方法,傅里叶变换方法具有直观和快速的优点,在不引入主观的膜层结构模型的情况下可以较为准确地定出复杂的多层膜结构参数,为多层膜结构表征提供了一种分析方法。
- 蒋晖徐敬朱京涛黄秋实白亮王晓强王占山陈玲燕
- 关键词：纳米多层膜傅里叶变换自相关函数
- 基于遗传算法的30.4nm多层膜设计被引量：11
- 2008年
- 阐述了用遗传算法设计周期和非周期多层膜的原理和实现过程,完成了30.4nmMg/SiC周期和非周期多层膜设计,研究了遗传算法中不同种群数和多层膜膜厚取值范围对优化结果的影响.计算发现,种群数的恰当选取是使算法快速达到或逼近最优解的前提,膜厚取值范围的合理选择是提高算法效率的关键.设计得到入射角10°的周期多层膜和15°～22°范围内的宽角多层膜在波长30.4nm处的反射率依次为56.57%与39.96±0.29%,5°入射的双功能多层膜在波长30.4nm和58.4nm处的反射率分别为54.1%和0.1%.结果表明遗传算法也是一种很好的多层膜设计方法.
- 陈锐王风丽朱京涛王洪昌王占山
- 关键词：薄膜光学多层膜遗传算法反射率
