国家自然科学基金(11076007)
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 相关作者：李海宁丁杰雄姜忠付陆元刘广民更多>>
- 相关机构：电子科技大学中国工程物理研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 用于狭缝中的SAW应力传感器的设计与制作被引量：2
- 2013年
- 为了对两曲面狭缝间的作用力进行监测,设计了一种基于声表面波(SAW)传感原理的无源无线应力传感器。首先,讨论了狭缝间作用力测量的传感技术方案,分析了弹性介质中力敏结构模型,进而确定了SAW谐振器的尺寸;其次,结合微机电系统(MEMS)加工工艺研究了该器件的制作工艺方案,包括SAW谐振器、支撑基底、传输线的制作。通过对SAW传感器设计与制作过程的探究,可为狭缝空间等极端环境中物理量的测量提供新的思路。
- 李海宁丁杰雄姜忠付陆元
- 金属狭缝中SAW传感器信号传输的设计与优化被引量：1
- 2015年
- 声表面波(SAW)器件可实现无源无线传感测量,为金属狭缝极端环境下接触应力的测量提供了解决思路。该文主要研究了狭缝中SAW器件的信号传输问题,选用微带线作为信号传输线。分析了金属狭缝对微带线传输性能的影响,设计出信号传输线及匹配电路。最后把设计出的微带线与谐振器键合连接,并进行实验测试。通过对金属狭缝中信号传输问题的研究,验证了狭缝等极端环境实施应力测量的可行性。
- 褚博文丁杰雄关利超边志远李海宁
- 关键词：SAW微带线阻抗匹配
- 基于SAW器件的狭缝间作用力监测传感器被引量：1
- 2014年
- 为了测量由两曲面组成的狭缝间的作用力,研究设计了一种基于单端声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)谐振器的接触应力传感器并研究了其制作工艺。首先,围绕曲面狭缝环境,讨论了作用力测量的传感技术方案,并针对不同的力敏结构在COMSOL Multiphysics软件下进行了应力仿真,进而确定了声表面波谐振器和支撑基底的尺寸参数;其次,结合MEMS工艺对单端SAW谐振器的制作工艺进行了研究,并针对狭缝环境提出一种新型SAW器件封装方式。通过对声表面波传感器设计与制作过程的探究,验证了利用声表面波进行狭缝空间应力测量的可行性。
- 李海宁丁杰雄姜忠付陆元刘广民
- 关键词：声表面波谐振器MEMS工艺封装方式
