科技型中小企业技术创新基金(10C26225123005)
- 作品数：1 被引量：14H指数：1
- 相关作者：陈立华赵智亮郑万国夏伯才更多>>
- 相关机构：成都精密光学工程研究中心中国工程物理研究院成都太科光电技术有限责任公司更多>>
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- 相关领域：机械工程更多>>
- 相移干涉测量中相移误差的自修正被引量：14
- 2013年
- 分析了相移干涉测量过程中相移误差产生的原因,研究了基于迭代最小二乘算法的相移误差修正法,实现了任意两幅干涉图间相对移相量的计算和自适应校正。基于光、机、电、算四系统,实现任意步长的3幅以上干涉图像的采集,用迭代最小二乘法计算任意两幅干涉图间的相对移相量,然后将其闭环反馈至硬件相移系统,自动修正相移步长为给定量的特征相移值,从而完成干涉仪相移误差的自修正。构建了相移误差自校正系统,通过实际干涉测量验证了算法的正确性和相移误差自修正系统的可行性。结果表明,自适应修正后相移量相对误差<5%,面形RMS测量重复性<λ/1 000,实现了高精度、高效率的相移误差自适应修正。
- 赵智亮夏伯才陈立华张志华郑万国
- 关键词：相移误差
