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国家重点基础研究发展计划(2006CB932502)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：李佳黄文浩陈宇航李家文更多>>
相关机构：中国科学技术大学更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇非线性
  • 1篇AFM

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇李家文
  • 1篇陈宇航
  • 1篇黄文浩
  • 1篇李佳

传媒

  • 1篇电子显微学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
AFM非线性测量的影响因素分析被引量：1
2009年
原子力显微镜(AFM)已经广泛应用于纳米科技领域。为获得准确的测量结果,对AFM非线性进行测量和校正是非常必要的。AFM非线性的测量方法有电容测微仪法、激光干涉法和扫描图像相关分析法等,其中图像相关分析法具有原位和简单等优点。本文应用图像相关方法,对不同漂移速率和扫描面积情况下的非线性测量结果进行实验对比分析。结果表明,漂移速率和扫描面积是影响图像相关法测量AFM非线性准确性的重要因素。
李家文李佳陈宇航黄文浩
关键词：原子力显微镜非线性
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