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上海市科学技术委员会科研基金(06DZ11414)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：江素华杨柳滨李越生更多>>
相关机构：复旦大学上海蓝光科技有限公司更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇导体
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数
  • 1篇光度
  • 1篇光度法
  • 1篇分光光度法
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体薄膜
  • 1篇氦
  • 1篇铝
  • 1篇镓

机构

  • 1篇复旦大学
  • 1篇上海蓝光科技...

作者

  • 1篇李越生
  • 1篇杨柳滨
  • 1篇江素华

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
化合物半导体薄膜工艺参数的分光光度法测试
2009年
化合物半导体的组分与膜厚等是光电子器件工艺监控中的关键工艺参数,因为这些参数直接影响着器件的光学和电学等性能。介绍了通过分光光度法和Forouhi-Bloomer离散方程相结合的方法测定化合物半导体薄膜折射率n与膜厚d,通过材料组分与折射率之间关系的分析进而得到化合物组分x,该结果用SIMS和XRD方法得到验证。由于分光光度法能够快速无损地测量反射率,并且由该反射率能够更准确地测到其组分信息,因此在实际的生产在线监控和工艺改进中有良好的应用前景。
杨柳滨江素华郝茂盛李越生
关键词：分光光度法
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