国家自然科学基金(61275207)
- 作品数：2 被引量：12H指数：2
- 相关作者：王向朝李思坤张恒戴凤钊汪凯巍更多>>
- 相关机构：中国科学院大学中国科学院上海光学精密机械研究所浙江大学更多>>
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- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法被引量：7
- 2017年
- 提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记的空间像进行主成分分析(PCA)和多元线性回归分析,构建了超高NA光刻投影物镜的空间像光强分布与高阶波像差之间的线性模型,并基于该模型实现了高阶波像差的检测。与使用六角度孤立空检测标记的传统方法相比,本方法提高了光瞳面波前的采样效率,拓展了波像差检测范围,实现了超高NA光刻投影物镜高阶波像差(Z_5~Z_(64))的高精度检测。光刻仿真软件PROLITH的仿真结果表明,该方法可实现60项泽尼克系数(Z_5~Z_(64))的检测,检测精度优于1.03×10^(-3)λ。
- 诸波尔王向朝李思坤孟泽江张恒戴凤钊段立峰
- 关键词：光刻主成分分析
- 基于评价函数的二维小波变换轮廓术小波脊提取方法被引量：5
- 2016年
- 小波脊提取是小波变换轮廓术的关键步骤,在抑噪能力和速度方面,前者直接影响后者。提出了基于评价函数的二维小波变换的一种新的小波脊提取方法,利用二维小波变换系数模信息、条纹瞬时频率信息以及局部条纹结构方向信息建立评价函数指导小波脊提取;并设计了快速动态优化算法。计算机模拟和实验验证了所提方法的有效性。
- 徐东瀛李思坤王向朝汪凯巍
- 关键词：面形测量条纹分析
