国家自然科学基金(69976004)
- 作品数：9 被引量：14H指数：3
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- 新型非制冷高速高灵敏度红外探测器的研制被引量：3
- 2003年
- 介绍了一种新型非制冷高速高灵敏度硅基电容式红外探测器的工作原理,描述了探测器的设计思想及制作工艺。该探测器采用密封于微气腔的特殊气体吸收红外辐射以改变探测器微电容的原理来进行红外探测,制作工艺采用微机械加工技术。对样品的测试表明这种红外探测器能探测红外信号。
- 刘铮李兰邹德恕杨道虹徐晨沈光地
- 关键词：微机械红外探测器非制冷
- 新型室温工作微机械红外探测器
- 提出一种基于特殊红外吸收机理和先进微机械加工技术实现的新型室温工作红外探测器。利用在特定波段对红外辐射有强烈吸收的气体作为吸收红外辐射的媒质,采用微机械加工方法制作带有弹性敏感薄膜的微气室和微电容检测结构将吸收的红外辐射...
- 李兰刘铮邹德恕沈光地
- 关键词：红外探测器微机械
- 文献传递
- 基于MEMS技术的气动式红外探测器的计算机模拟
- 提出了一种可工作于室温环境下、基于MEMS技术的气动式红外探测器,它由束缚于微型腔体内、对特定波段的红外辐射具有吸收作用的气体介质构成。通过气体介质热膨胀引起的弹性薄膜形变,可获得包含红外辐射源信息的信号。建立了符合器件...
- 吴峻苗邹德恕徐晨沈光地
- 关键词：微机械
- 文献传递
- 微机械气体红外探测器的CFD模拟
- 2004年
- 概要地介绍了一种可工作于室温环境下的微型气体红外探测器,它基于气体吸收红外辐射后以无辐射去激励方式产生一系列热效应的物理基础,可获得包含红外辐射源信息的信号。为深入研究热效应所产生的微热信号对器件整体性能的控制和影响,建立了相应的流体力学(CFD)模型,通过数值分析方法,获得了气体物质微观行为随红外辐射源辐射特性的变化关系。
- 吴峻苗邹德恕高国李兰刘铮杨道虹
- 关键词：微机械
- 基于MEMS技术的气动式红外探测器的计算机模拟
- 2004年
- 提出了一种可工作于室温环境下、基于MEMS技术的气动式红外探测器,它由束缚于微型腔体内、对特定波段的红外辐射具有吸收作用的气体介质构成。通过气体介质热膨胀引起的弹性薄膜形变,可获得包含红外辐射源信息的信号。建立了符合器件工作机制的物理模型,并通过有限元模型和流体-热-结构耦合模拟获得了微型腔体内气体介质的温度、速度场分布以及弹性薄膜的形变。
- 吴峻苗邹德恕徐晨沈光地
- 关键词：微机械
- 硅-玻璃静电键合中的电流-时间特性分析被引量：3
- 2001年
- 在微传感器和微机械结构的静电键合实验中 ,当加电压到键合片对上时 ,外电路的电流迅速上升到一定值后 ,不是逐渐减小 ,而是较缓慢的继续上升 ,或在某一值停留一段时间再逐渐减小到最小值。通过对实验现象的分析 ,认为键合的电流 -时间特性主要是下述两个过程的综合反映 ,键合过程中接触电阻的减小引起的电流增大和空间电荷区形成引起的电流减小 。
- 董欣吴畯苗邹德恕史衍丽邓军杜金玉高国沈光地
- 关键词：电流-时间特性微机械微传感器
- 新型红外探测器可动薄膜微腔的腐蚀工艺研究被引量：5
- 2003年
- 基于气体直接吸收机理、微机械技术实现的气动红外探测器是对中远波段实现室温探测的新型红外探测器。该探测器的关键结构———微气腔和可动薄膜的腐蚀工艺研究对整个器件的制作有重要意义。根据探测器结构提出了对腐蚀工艺的要求,采用EPW湿法腐蚀的工艺,通过实验研究器件结构制作的最佳腐蚀条件和腐蚀速度,保证了工艺的可控性和器件结构的质量。
- 李兰董典红刘铮邓军徐晨邹德恕沈光地
- 关键词：微机械红外探测器湿法腐蚀
- 新型室温微机械红外探测器原理与设计被引量：5
- 2004年
- 利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器。当密闭腔 内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小。采用微机械技术制作的探测器,对8-14mm红外辐射有灵敏、快速的响应,灵敏度≥2×10-3 pF/mW。
- 李兰沈光地邹德恕刘铮邓军杨道虹吴畯苗
- 关键词：红外探测器微机械
- 微机械气动红外探测器的计算机仿真
- 2004年
- 介绍了一种可工作于室温环境下的微型气动式红外探测器,它基于气体介质吸收特定波段的红外辐射后以无辐射气动方式激励并产生一系列热效应的物理基础,可获得包含红外辐射源信息的信号。建立了符合器件工作模式的有限元模型,采用流体-热-结构耦合方法分析了器件的机械行为以及气体介质的温度场分布,模拟并讨论了不同结构参数对器件性能的影响,为采用MEMS技术研制具有波长选择特性的非致冷气动式红外探测器提供了理论基础。
- 吴畯苗邹德恕沈光地
- 关键词：非致冷
- 新型室温工作微机械红外探测器
- 2003年
- 提出一种基于特殊红外吸收机理和先进微机械加工技术实现的新型室温工作红外探测器。利用在特定波段对红外辐射有强烈吸收的气体作为吸收红外辐射的媒质,采用微机械加工方法制作带有弹性敏感薄膜的微气室和微电容检测结构将吸收的红外辐射能量转换为弹性薄膜的机械形变引起电容变化并通过电学方法检测,从而实现灵敏而快速的室温红外探测器件,尤其在8～14μm有良好的应用前景。
- 李兰刘铮邹德恕沈光地
- 关键词：红外探测器微机械
