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国家高技术研究发展计划(2003AA312070)

作品数：2 被引量：4H指数：1
相关作者：高文秀徐晓刚郑川赵军吴亚明更多>>
相关机构：厦门大学中国科学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇电磁
  • 1篇电磁阻尼
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微机械
  • 1篇机电系统
  • 1篇磁阻
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇厦门大学

作者

  • 1篇徐静
  • 1篇吴亚明
  • 1篇郑川
  • 1篇徐晓刚
  • 1篇高文秀
  • 1篇赵军

传媒

  • 1篇机械强度
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
微机械电磁阻尼结构分析
2007年
提出采用电磁阻尼结构来提高微机械角度调节装置的响应速度。通过建立结构模型和分析结构参数对阻尼效果的影响,给出具体设计实例以及制作工艺,证实该阻尼结构的有效性和可行性。
赵军徐静吴亚明
关键词：微机械电磁阻尼
一种新型可调谐光栅的制作工艺被引量：4
2005年
基于MEMS工艺,用硅橡胶制作了光栅常数可变型光栅,可用于光学MEMS器件中的关键部件,给出了可调谐光栅的详细制作工艺。经ANSYS对硅橡胶衬底光栅的弹性模量动态模拟,结果显示本光栅具有良好的线性响应。
徐晓刚郑川高文秀
关键词：微机电系统
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