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浙江省大学生科技创新项目(2011R409012)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：陈小军余森江陈苗根焦志伟更多>>
相关机构：中国计量学院更多>>
发文基金：浙江省大学生科技创新项目浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇内应力
  • 1篇屈曲

机构

  • 1篇中国计量学院

作者

  • 1篇焦志伟
  • 1篇陈苗根
  • 1篇余森江
  • 1篇陈小军

传媒

  • 1篇台州学院学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
玻璃基片上钽薄膜屈曲结构的边界效应研究
2012年
利用直流磁控溅射方法在玻璃基片上沉积了金属钽薄膜,研究了边界效应对薄膜屈曲结构的影响。结果表明:制备态的钽薄膜包含较大的残余压应力,促使薄膜与基片脱层而形成屈曲结构;屈曲结构在薄膜边界处成核生长,并逐渐扩展到薄膜内部区域;在薄膜边界处,屈曲结构呈垂直边界的平行直线状条纹结构,随着距离的增加,屈曲结构逐渐分叉形成无规网格结构或电话线结构。利用薄膜的单轴应力和等双轴应力模型,对屈曲结构边界处的形貌特征进行了深入分析。
陈小军余森江焦志伟陈苗根
关键词：屈曲内应力
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