国家自然科学基金(60901009)
- 作品数：3 被引量：17H指数：1
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- CMOS电容式湿度传感器特性研究
- 2011年
- 提出了一种CMOS电容式湿度传感器特性研究方案。研究所用的微电容湿度传感器由标准CMOS工艺结合MEMS后处理技术加工而成。为了测试湿度传感器的响应时间,设计了一种响应时间测试装置。测试结果表明,该电容式湿度传感器在相对湿度25%～95%的范围内具有较好的线性度;其回滞在75%RH时达到最大,为2%RH;该传感器响应时间较短;短期测试无明显漂移。
- 刘岩赵成龙聂萌秦明
- 关键词：电容式传感器湿度传感器CMOS工艺MEMS
- 与CMOS兼容的MEMS气压传感器工艺实现与性能分析被引量：1
- 2012年
- 采用CMOS标准工艺,同时采用三种典型MEMS后处理关键工艺,重点通过对牺牲层释放工艺进行研究,制作实现了一种新型CMOS兼容的电容式气压传感器.在该传感器结构中,作为牺牲层的是在CMOS工艺中形成的掺硼氧化硅.通过释放使电容上电极悬空从而感应气压变化.释放过程采用氢氟酸HF、氟化铵、甘油和水的混合溶液.由于释放孔大小和释放孔间距的设计十分关键,通过实验验证优化了4μm×4μm的释放孔更适用于此传感器结构,并对此结构进行了性能分析与实验测试.结果表明,该气压传感器结构合理,工艺成功,重点解决了MEMS后处理中的牺牲层释放工艺与CMOS标准工艺的兼容问题,为利用CMOS标准工艺进行MEMS传感器的研制做出了有益的尝试.
- 王艳春黄庆安聂萌余辉洋
- 谐振式MEMS温度传感器设计被引量：16
- 2010年
- 为了实现以频率输出为信号的气象温度测量,提出了一种基于双层悬臂梁的谐振式微温度传感器。基于双悬臂梁不同材料热膨胀系数的差异会导致悬臂梁谐振频率偏移的原理,采用压电方式同时实现悬臂梁的驱动及其谐振频率的检测,从而实现温度的测量。根据硅基传感器的正面腐蚀工艺,设计了谐振悬臂梁的双层结构,采用有限元方法分析了悬臂梁的谐振模态、可利用的振型及其温度与各模态谐振频率的关系,并利用多普勒振动系统对悬臂梁的谐振特性进行了研究。实验发现悬臂梁的二阶弯曲振型Q值相对于其它振型是最大的,其Q值约为150;高阶振型特别是二阶弯曲振型适合用于以ZnO为压电材料的温度传感器的频率检测,并且具有相对较高的灵敏度(约为20Hz/℃)和频率温度系数(1.9×10-4/℃)。结果表明,微型温度传感器能够满足气象温度检测的要求,并具有抗干扰能力强、灵敏度高、信号传输接口简单等优点。
- 马洪宇黄庆安秦明
- 关键词：频率测量谐振悬臂梁
