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上海市自然科学基金(10ZR1436300)
作品数:
1
被引量:3
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相关作者:
张永刚
顾溢
曹远迎
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2011
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采用InGaAs或InAlAs缓冲层的高In组分InGaAs探测器结构材料特性(英文)
被引量:3
2011年
利用气态源分子束外延在InP衬底上生长了具有InxGa1-xAs或InxAl1-xAs连续递变缓冲层的高In组分In0.78Ga0.22As探测器结构.通过原子力显微镜、X射线衍射、透射电子显微镜和光致发光对它们的特性进行了表征和比较.结果表明,具有InxGa1-xAs或InxAl1-xAs缓冲层的结构都能获得较平整的表面;具有InxGa1-xAs缓冲层的探测器结构表现出更大的剩余应力;具有InxAl1-xAs缓冲层的探测器结构所观察到的光学特性更优.
顾溢
王凯
李成
方祥
曹远迎
张永刚
关键词:
光电探测器
缓冲层
INGAAS
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