国家教育部博士点基金(20040248052)
- 作品数:13 被引量:65H指数:6
- 相关作者:江志斌张怀郭乘涛胡鸿韬刘惠然更多>>
- 相关机构:上海交通大学更多>>
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- 相关领域:自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 用于晶圆制造产能规划优化决策的改进随机规划方法被引量:2
- 2007年
- 提出了一种滚动式基于场景(scenario)的随机规划方法.由于需求的高度不确定性,采用多个预测场景来模拟需求的不确定性,其发生概率之和为1;由于一个产能计划周期可能包含多个需求预测周期,以分别满足几个预测周期的需求为约束,而不是满足整个计划周期的需求;以滚动的形式来做设备购置计划,即根据未来几个计划周期的情况来做本期设备购置决策,使得到的设备购置决策具有更好的鲁棒性.结果表明,当未来产品需求在一定范围内变动时,基于随机规划的滚动计划决策优于原来的随机规划决策.
- 耿娜江志斌
- 关键词:晶圆制造
- 晶圆制造系统中Lot加工序列优化的蚁群算法
- 2008年
- 针对半导体晶圆制造系统中设备从缓冲区选择Lot加工问题,提出Lot加工序列优化的蚁群算法,对其进行计算时间复杂度分析,并给出了该算法的改进形式.该改进算法是根据晶圆制造系统重入特点,基于瓶颈设备构建蚁群算法求解模型,通过迭代仿真最终获取Lot加工优先序列表.仿真结果表明,采用该算法在短期调度区间内,与一般的基于规则的动态调度算法相比,效果得到了显著的改善.
- 姚世清江志斌郭乘涛胡鸿韬
- 关键词:半导体晶圆制造系统蚁群算法离散事件仿真时间复杂度
- 基于EOPN的晶圆制造系统实时调度仿真平台被引量:7
- 2006年
- 针对半导体晶圆制造系统(SWFS)的组织构成、加工过程和生产模式的典型特点,以拓展型面向对象Petri网(EOPN)为工具对该复杂系统建立了模型,在准确描述晶圆制造过程的基础上采用面向对象技术设计并开发了一套SWFS实时调度仿真平台.该平台不仅能够真实再现半导体晶圆的反复重入型加工过程,而且能够集成多种实时调度与派工控制算法,以准确高效的仿真计算进行算法测试和相应系统绩效的评价与预测.SWFS实时调度仿真平台的开发成功对SWFS的建模、调度和控制等相关研究起到积极的支持作用.
- 张怀江志斌郭乘涛刘惠然
- 关键词:半导体晶圆制造系统仿真实时调度
- 应用混合蚁群算法求解并行批处理机组批与调度问题被引量:11
- 2010年
- 晶圆制造系统的批处理机具有长加工时间的特征,其调度性能指标对车间总体绩效有重要影响.批处理机调度分为组批与批次调度.针对工件的动态到达特性导致组批困难,提出了一种混合型蚁群算法.利用该算法的全局并行搜索能力对工件进行组批,并使用BATC算法对批次进行调度,可以解决多产品并行批处理机调度问题.以工件总拖期最小为性能指标,通过实例仿真,对蚁群算法性能进行分析评价和比较.结果表明,所提出的算法具有有效性和实用性.
- 郭乘涛江志斌
- 关键词:蚁群算法调度批处理
- 一种基于随机规划的晶圆制造产能规划方法被引量:5
- 2006年
- 针对晶圆制造过程中产能与需求的高度不确定性问题,采用基于场景(scenario)的随机规划方法进行设备购置决策.未来不确定的需求采用多个以发生概率相联系的预测场景来模拟,使得到的设备购置决策具有较好的鲁棒性.采用加工作为衡量产能的标准,考虑了优先设备与后备设备的区别,目标是尽量满足各阶段各场景中的需求.结果表明,当未来产品需求在一定范围内变动时,基于随机规划的决策优于基于线性规划的决策.
- 耿娜江志斌
- 关键词:晶圆制造
- 半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化被引量:5
- 2008年
- 从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现了全局优化效果,为实现SWFS的科学生产控制与调度提供了有效策略和方法.
- 李衍飞江志斌
- 关键词:半导体晶圆制造系统生产计划与调度模糊控制模拟退火法
- 半导体芯片制造混合调度方法被引量:1
- 2009年
- 针对半导体制造系统设备性能的多样性、多产品混合加工以及可重入性等特点,采用遗传算法和动态调度规则结合的方法优化生产过程.首先,通过遗传算法优化工件加工路径;然后,通过动态控制策略确定工件加工顺序.最后,进行仿真实验,比较了不同动态调度规则和遗传算法混合使用的效果.结果表明,通过遗传算法能够得到较优化的结果.
- 胡鸿韬江志斌陈侃
- 关键词:遗传算法
- 基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究被引量:1
- 2008年
- 针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了 SWFS 的优化调度方法。所提出的方法兼顾最大产品交期率、最大生产移动量和瓶颈机台最大产能利用率三个目标,根据时变目标权重计算出在制品的加工优先权序列号。大量的仿真实验数据证明,该调度算法能够改善系统多个绩效目标,可为大规模复杂重入型制造系统的科学生产控制与调度提供有效支持。
- 李衍飞江志斌张怀
- 关键词:生产计划与调度模糊控制
- 半导体生产线动态在制品水平控制方法被引量:8
- 2008年
- 针对半导体晶圆制造中设备众多,生产周期长和多次重入等特点,提出一种在制品水平分解控制方法。首先,通过仿真实验,依据系统关键指标受设备性能变化影响的灵敏度大小,确定设备的约束权重;然后,依据设备约束权重,结合产品的加工参数,确定每种产品各加工阶段合理的在制品水平分布;最后,设备依据实际在制品水平和目标在制品水平的差别和上下游信息,动态地选择工件加工。通过仿真实验,验证了算法的可行性和有效性。
- 胡鸿韬江志斌张怀
- 关键词:半导体晶圆制造系统调度
- 基于问题分解的蚁群算法在半导体晶圆制造调度中的应用被引量:9
- 2009年
- 为了调度具有大规模、多重入、混合型生产等特征的半导体晶圆制造系统,提出一种将基于问题分解的方法与蚁群算法相结合的新的调度方法.通过基于时间与基于系统结构的复合分解过程,将大规模复杂调度问题分解为若干子问题,在相邻子问题间设置重叠操作以保证调度的一致性.为调度各子问题,提出一种分类蚁群算法以处理不同类型的机器.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行,结果表明,该方法对调度结果有显著的提升.
- 郭乘涛江志斌张怀
- 关键词:半导体晶圆制造系统调度蚁群算法