国家自然科学基金(50405030)
- 作品数:12 被引量:41H指数:5
- 相关作者:王海容蒋庄德周向阳姚永刚张英更多>>
- 相关机构:西安交通大学河南机电高等专科学校大连理工大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域:电气工程机械工程理学电子电信更多>>
- 纳米压入法测试薄膜力学性能的若干关键影响因素分析被引量:6
- 2007年
- 纳米压入法是目前薄膜等小体积MEMS(micro-electro-mechanical system)材料力学性能评定广为使用的方法,其测试可靠性严重依赖于仪器校准及对各种误差影响因素的消除和修正。文中以Oliver-Pharr数学评定模型为基础,对包括仪器柔度、压尖几何形状偏差、初始接触点位移、尺寸效应、基底、堆积和凹陷、蠕变、表面粗糙度等在内的薄膜弹性模量和硬度纳米压入测试时的若干关键影响因素进行分析。在此基础上,分别给出相应的处理办法和数据修正措施。研究表明,只有综合考虑这些因素的影响,方能获得准确的薄膜本征力学性能参数。
- 周向阳蒋庄德王海容蒋志强
- 关键词:纳米压入弹性模量影响因素
- 基于混沌理论的电力短期负荷预测被引量:2
- 2007年
- 采用基于混沌算法的自适应预测模型进行电力系统短期负荷预测,通过进化算法建立一种自适应机制,使得网络能够根据学习和训练的结果优化非线性反馈项。算例表明,该算法具有很强的自适应能力和鲁棒性,预测精度高。
- 姚永刚张亚华
- 关键词:短期负荷预测神经网络混沌LYAPUNOV指数
- 基于纳米压入技术的新型MEMS/NEMS材料力学行为表征被引量:4
- 2008年
- 准确了解微/纳米特征尺度条件下材料的力学性能是MEMS/NEMS(micro/nano electro-mechanical system)材料实际应用的一个关键前提条件。文中研究基于纳米压入技术的新型MEMS/NEMS材料力学行为的表征方法,包括高聚物、一维结构纳米材料和形状记忆合金等。研究结果表明,纳米压入技术是评定这些新型MEMS/NEMS材料力学性能的有力工具,并可作为有效的实验手段,揭示力学行为与其依存诸因素之间的内在关联。
- 周向阳蒋庄德俞瑞霞王海容
- 关键词:纳米压入力学性能高分子聚合物纳米材料形状记忆合金
- 无传感器测量电机转速的新方法被引量:1
- 2007年
- 在阻抗和谐波分析的基础上,提出了感应电机无传感器检测的谐波导纳法,并成功地应用于电机转速检测。该方法基于导纳测量和快速傅里叶变换,给出了一种获得谐波导纳的计算方法并利用谐波导纳提取转速信息。由于导纳被定义为电流和电压之比,是电机系统固有的属性,不依赖于电流或电压本身,因而有较强的抗干扰能力。实验研究结果证实了其有效性,特别是在传统的电流法失效的情况下,应用谐波导纳法仍能提取令人满意的转速谐波。
- 姚永刚田效武张雷
- 关键词:感应电机快速傅里叶变换
- 压入测试仪柔度标定方法研究被引量:7
- 2007年
- 仪器柔度标定和位移校准是压入法测试的一项重要工作,通过对各种标定方法特点的综合比较认为Doerner-Nix法是一种理想的折中方法,结果相对可靠并易于操作。利用该法对微压入测试仪进行了标定,获得的柔度值为0.61×10-6m/N。仪器校准后得到的Si(100)弹性模量和硬度值与文献值符合较好,而未校准直接获得的2个测试值比校准后分别低21.5%和2.4%。
- 周向阳蒋庄德王海容
- 关键词:MEMS力学性能
- 红外吸收式光纤甲烷气体传感系统的研究被引量:6
- 2008年
- 通过对甲烷气体吸收光谱的分析,结合光学器件的发展情况,提出了红外吸收式光纤甲烷气体传感测试方法。该测试系统基本工作原理是多分子气体对特征吸收波长的光吸收作用随浓度变化而变化。该系统以1.33μm波长的分布反馈式半导体激光器(DFB LD)作为光源,响应灵敏度1 nW的光功率计作为光探测器。采用单光路传输,通过实验说明红外吸收式光纤甲烷气体传感器可靠检测小于体积分数15%的甲烷体,为其进行报警等应用打下基础。
- 张英王海容高鲜妮蒋庄德
- 关键词:甲烷光纤传感器
- 电机电枢参数智能检测系统
- 2007年
- 通过单片机控制步进电机的旋转和电磁铁的吸合,对电机电枢进行试验和检测,并通过单片机与智能仪器的通信将所测量的结果进行存储、显示和比较判断,并打印结果,实现了电枢参数检测的自动化,提高了电机检测质量。
- 姚永刚郭海针王珂
- 关键词:单片机智能检测仪步进电动机
- DSP在数字化电力测量系统中的应用
- 2007年
- 针对电容式电压互感器的电力电压测量中,电容分压器驱动负荷能力小、大负载时测量不准确这一现状,文中提出了一种应用于电压互感器二次测的基于数字信号处理器(DSP)的数字化高精度信号放大系统。采用数字化逆变器来实现电力系统正弦电压信号功率的放大,利用DSP的高速处理能力,实现了逆变系统的高性能和高精度。并在其软件中采用了用于电流预估计的PI控制算法和电压电流的双环控制。实验结果表明,该数字化电力电压信号放大器精度高、性能良好。
- 姚永刚吴建远
- 关键词:数字信号处理器功率放大器数字化逆变器
- MMI微压印模板的设计与研究被引量:2
- 2008年
- 微纳米压印技术作为代替传统光刻的一种新兴技术,有着重要的应用潜力。近年来在直接加工微器件如微流体、微生物器件,特别是在微平面光学器件方面得到了较快的发展。采用微压印法直接加工聚合物微平面光学器件是一个具有实用价值和研究价值的课题。该文首先讨论并选取了聚甲基丙稀酸甲酯(PMMA),研究了聚合物多模干涉(MMI)耦合器器件的微压印模板的设计和加工,讨论了压印模板材料的影响。根据典型基于MMI聚合物分光器件模板的设计实例,由聚合物的光学性能和分光要求,设计出模板的几何尺寸,通过微细加工工艺加工出模板,并给出了初步的热压印实验结果。
- 王海容蒋庄德刘俊明周志涛张英
- 基于TiN涂层/玻璃基体的热压印模板的制备与性能被引量:3
- 2008年
- 对于热压印光刻而言,制备具有精确几何结构、良好耐磨损性能以及长使用寿命模板至关重要。在分析现有Si或SiO2模板使用性能基础上,提出了在TiN涂层/玻璃基体上制备热压印模板。首先采用直流磁过滤电弧在玻璃上沉积TiN薄膜,然后,通过聚焦离子束在薄膜上加工出最小线宽71nm的栅型结构,最后,使用所加工的模板,进行热压印实验,获得了良好的压印结果。实验结果表明,TiN作为模板材料可以获得高保真度的纳米图案,并且由于TiN比Si或SiO2具有更高硬度和强度,玻璃基体也具有很好的机械性能,由TiN/玻璃系统制备的压印模板的机械性能和使用寿命较之Si或SiO2基模板得到很大提高。
- 周志涛王海容蒋庒德刘冲
- 关键词:纳米压印光刻热压印聚焦离子束硬质涂层