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AFM电场诱导氧化加工作用的分析被引量：1: 2003年; 纳米加工技术是纳米器件研究的重要基础条件 ,纳米氧化结构则是纳米器件的重要组成部分。为了深化对AFM电场诱导氧化加工机理的理解 ,本文对Si表面的电场诱导氧化作用进行了实验研究 ,包括探针与样品之间实际电压的监测、不同掺杂Si材料加工门槛电压的分析及探针扫描速率对氧化物高度的影响。实验分析表明。; 胡晓东郭彤傅星胡小唐; 关键词：原子力显微镜 AFM 纳米加工技术

外界振动对SPM测量结果的影响被引量：3: 2003年; 探讨了外界激振对扫描探针显微镜(SPM)扫描图像的影响.针对DI扫描探针显微镜MultiModeTMSPM,以Tektronix任意波形发生器AWG2021驱动PC扬声器作为激振源,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统,研究了0～7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响.实验表明,针尖样品副所受激振影响不同于SPM机体;0～1kHz频带内的激振影响显著,再高频段则影响甚微;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果;针尖样品副的粘弹性模型是SPM振动影响研究的指导理论.; 胡小唐陈津平胡晓东郭彤陈峰; 关键词：扫描探针显微镜粘弹性模型

大气状态下AFM针尖诱导氧化加工Ti膜的机理分析被引量：3: 2003年; 通过 AFM针尖诱导氧化加工 Ti膜的实验得到了凸出的 Ti膜氧化物高度与偏置电压成线性关系 ,并和针尖扫描速度成负对数关系 ,在前人的基础上深化了 AFM针尖诱导氧化加工的机理和理论模型 ,分析得到了合适的加工条件即 :偏压为 8V,扫描速度为 0 .1μm/ s.; 匡登峰刘庆纲胡小唐郭维廉张世林; 关键词：阳极氧化偏压

振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究: 探讨了外界激振对扫描探针显微镜(SPM)图像的影响。针对 DI 扫描探针显微镜 MultiMode SPM,以 Tektronix 任意波形发生器 AWG2021驱动 PC 扬声器作为激振源,以 SIOS 微型激光干涉测...; 陈津平胡晓东陈峰郭彤胡小唐; 关键词：扫描探针显微镜粘弹性模型; 文献传递

AFM电场诱导氧化加工作用的分析: 纳米加工技术是纳米器件研究的重要基础条件,纳米氧化结构则是纳米器件的重要组成部分。为了深化对 AFM 电场诱导氧化加工机理的理解,本文对 Si 表面的电场诱导氧化作用进行了实验研究,包括探针与样品之间实际电压的监测、不同...; 胡晓东郭彤傅星胡小唐; 关键词：原子力显微镜; 文献传递

卧式层状燃煤锅炉炉内消烟除尘技术: 2003年; In China, a number of horizontal grate fired boilers have been used in industry and black soot and fly ash are emitted out of the furnace A smoke prevention and dust control device suited for horizontal grate fired boilers is invented so as to solve these two problems The technical feature of the device is presented and aerodynamic field in the furnace is simulated It shows many advantages,such as simple structure, easy arrangement, effective inhibition of soot formation and realizing dust removal in; 王擎孙东红孙佰仲闫跃升孙键; 关键词：原煤锅炉消烟除尘

煤无烟燃烧锅炉炉内燃烧特性分析被引量：3: 2006年; 对一台所设计的DZL1.0-0.7-AⅢ煤无烟燃烧锅炉炉内燃烧特性进行了数值模拟。对床层反应,采用了基于热力学平衡法的“黑箱模型”,而对于床层上方炉膛空间内的气相湍流燃烧则采用了标准k-ε模型、旋涡消散模型和离散坐标模型。采用非结构化四面体网格生成技术处理复杂炉膛几何空间的网格生成。通过数值模拟,得到炉内速度场,温度场,浓度场等参数的分布特性。结果表明:“多孔分层错列撞击流式”二次风的引入对于改变炉内流动和燃烧特性,加强炉内烟气和空气的混合,强化燃烧及实现炉内消烟除尘具有重要的作用。; 柏静儒王擎孙佰仲刘向莉孙键; 关键词：二次风燃烧特性数值模拟

振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究: 2003年; 探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0～ 7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响。实验表明 ,针尖 -样品副所受激振影响不同于SPM机体 ;0～ 1kHz频带内的激振影响显著 ,再高频段则影响甚微 ;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果 ;针尖; 陈津平胡晓东陈峰郭彤胡小唐; 关键词：扫描探针显微镜粘弹性模型固有频率

利用AFM在不同加工参数下实现纳米加工被引量：3: 2004年; 利用扫描探针显微镜(SPM)进行电场诱导氧化加工的方法可应用于半导体微型器件和纳米电子器件的加工制作.文中研究了原子力显微镜(AFM)电场诱导氧化理论以及一些加工参数(偏置电压和加工速度)对加工结构尺寸的影响,并提出了阈值电压的概念.通过实验得出了偏压越大,加工线尺寸越大的结论,并指出随着加工速度的增大,加工线宽和线高都减小,且加工线高度和加工速度近似呈负对数关系.实验是在H钝化的Si表面上进行的.; 王研郑丽芬胡晓东傅星胡小唐; 关键词：AFM 加工参数原子力显微镜偏置电压阈值电压

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教育部科学技术研究重点项目(02043)