国家自然科学基金(50927502)
- 作品数：8 被引量：15H指数：1
- 相关作者：常素萍谢铁邦陈育荣王生怀黎新更多>>
- 相关机构：华中科技大学湖北汽车工业学院洛阳理工学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金湖北省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术建筑科学更多>>
- 大量程触针杠杆式轮廓仪的非线性误差分析和补偿被引量：1
- 2012年
- 介绍了一种基于光栅干涉测量原理的大量程、高精度触针杠杆式表面形貌传感器，并对传感器在大量程测量时的非线性误差进行了分析。测量时轮廓仪在水平和垂直方向上都会由于测杆绕固定支点的转动而产生非线性误差，为此提出了一种对水平和垂直方向上非线性误差进行校正的新方法。通过使用大量程、高精度的一维垂直微位移工作台和标准楔形斜块进行误差校正。最后分别给出校正前后误差曲线，并进行对比。通过分析可知，此方法可以有效减小测量时的非线性误差，大大提高轮廓仪在进行大量程测量时的精度，从而实现大量程、高精度测量。
- 衷颖杰常素萍谢铁邦
- 关键词：计量学误差补偿
- 一种新型三维精密工作台的设计与应用被引量：1
- 2012年
- 为满足超精密表面形貌测量对工作台的大量程、超精密和三维扫描的要求,设计了一种新型三维精密工作台。工作台由自带计量系统的二维工作台和垂直扫描工作台组成。测量时闭环系统控制二维工作台的位移;同时,Z方向位移执行单元驱动垂直扫描工作台,实现了垂直方向上的精确定位。将研制的工作台与现有的位移传感器组合成表面形貌测量系统,对标准样板的粗糙度进行测量,其测量示值误差均在5%以内。结果表明,所设计的三维精密工作台能够满足使用要求。
- 黎新陈育荣王生怀
- 关键词：表面形貌测量压电陶瓷驱动器衍射光栅伺服电机
- 复合型超精密表面形貌测量仪被引量：11
- 2011年
- 研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪。分析了基于白光显微干涉原子力探针的测量方法、探针微悬臂变形量与白光干涉条纹移动量的关系以及探针微悬臂测量非线性误差的修正方法,和通过融合垂直扫描系统的位移量和悬臂梁变形量得到了原子力探针的工作方式。研制了三维精密位移系统和基于白光显微干涉的原子力探针测头。采用原子力探针扫描测量对NT-MDT公司生产的扫描探针校准光栅TGZ2_PTB进行了重复性实验,实验显示标准差为0.96nm,相对重复性误差为3.08%。给出了原子力探针扫描测量、相移干涉测量及白光干涉垂直扫描测量的测量实例。实验结果表明,所研制的超精密表面形貌测量仪可用于超精密加工工程表面、光学表面以及微纳几何结构的测量。
- 王淑珍谢铁邦常素萍
- 关键词：表面形貌测量白光干涉
- 基于垂直扫描的精密三维工作台及应用被引量：1
- 2011年
- 介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,它由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成。垂直扫描工作台放置在X-Y二维工作台上方。当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服电机和压电陶瓷驱动器驱动垂直扫描工作台去实现垂直方向上的精确定位。衍射光栅位移传感器用于探测垂直扫描工作台的垂直位移量。
- 黎新陈育荣王生怀
- 关键词：表面形貌测量压电陶瓷驱动器
- 基于CPLD的PCI测量控制系统的设计与实现
- 2013年
- 分析研究现有表面形貌测量仪器的测量控制系统的优缺点,提出一种基于CPLD的高速、高可靠性、低成本的PCI总线测量控制系统实现方案。该系统以CPLD为控制核心,将PCI目标总线接口、电机控制模块、AD控制模块、DA控制模块以及正交解码计数模块设计成IP软核(intellectual property core)集成到单片CPLD上,利用PCI总线高速传输特性提高系统的执行效率,同时单片集成的设计方式既减小了开发成本,又提供了整个系统的可靠性。通过应用到表面形貌测量仪器进行实际测量,验证了该方案的可靠性。
- 杨拓文常素萍谢铁邦
- 关键词：表面形貌测量PCI总线复杂可编程逻辑器件IP核
- 毛化表面的三维表面形貌在线测量仪
- 2014年
- 表面形貌影响着毛化钢板的使用性能和轧制工艺,在冷轧毛化钢板的生产中要实时监控.本文介绍了一种便携式的三维表面形貌测量仪,具有三维形貌测量和图像分析的功能,能够在线测量毛化钢板和轧辊的表面形貌.接触式位移传感器基于激光干涉原理,结合二维水平位移工作台,可实现大面积高精度的三维形貌测量.同时分析了该仪器的技术性能,并进行了试验测试,给出了测量结果.
- 辛洪常素萍谢铁邦
- 关键词：激光干涉
- 基于衍射光栅计量系统的非接触轮廓测量位移传感器被引量：1
- 2011年
- 聚集检测法是一种非接触轮廓测量方法,但是现有的聚焦检测法采用音圈电机,其测量精度有限。针对此问题,文中提出了一种非接触位移传感器,该传感器基于改进的傅科聚焦检测法,并带有衍射光栅计量系统。通过压电驱动器取代音圈电机驱动,并配合位移计量系统,提高了传感器的测量精度。在表面轮廓采样时,根据聚焦偏差信号,压电驱动器驱动聚焦透镜作垂直运动,使焦点始终在工件表面,同时衍射光栅计量系统测得聚焦透镜的垂直位移并将其作为采样点的轮廓高度。所有采样点的位移显示出被测量表面的整个轮廓,评定软件处理这些位移数据即可获得测量结果。该非接触的位移传感器的分辨率为10 nm.
- 黎新陈育荣王生怀
- 关键词：位移传感器压电驱动器
- 夹桩时预制桩的强度分析
- 2010年
- 对夹桩时夹桩机构和预制桩的静态受力进行了分析,结论表明:夹桩时预制桩的屈服从与下钳口接触处的内壁开始;预制桩能承受的最大夹桩力随着夹桩钳口与预制桩之间的接触长度、预制桩的外径和壁厚的增大而增大。
- 周旭明兴祖陈育荣孙传琼
- 关键词：预制桩
