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国家高技术研究发展计划(2010AA8041015)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：舒桦傅思祖方智恒杜艾叶君建更多>>
相关机构：中国工程物理研究院同济大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：核科学技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇核科学技术

主题

  • 1篇离子束
  • 1篇离子束刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇激光
  • 1篇氟化锂
  • 1篇铝

机构

  • 1篇同济大学
  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 1篇谢志勇
  • 1篇黄秀光
  • 1篇叶君建
  • 1篇杜艾
  • 1篇方智恒
  • 1篇傅思祖
  • 1篇舒桦

传媒

  • 1篇原子能科学技...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
铝台阶/氟化锂激光压缩复合靶的制备与测量被引量：1
2013年
本文主要介绍用于激光加载材料非冲击压缩实验研究中的铝台阶/氟化锂复合靶的制备与相关参数的测量。铝台阶/氟化锂复合靶主要通过光学抛光减薄、离子束刻蚀台阶、表面减反膜制备、铝薄膜的精密轧制以及薄膜精密装配等加工技术与工艺流程制备。制备的铝台阶/氟化锂复合靶基本满足物理实验要求,获得了较好的实验结果。
叶君建谢志勇黄秀光杜艾舒桦方智恒傅思祖
关键词：激光铝氟化锂离子束刻蚀
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