国家自然科学基金(71201048)
- 作品数：4 被引量：27H指数：4
- 相关作者：吴立辉李丽武照云吉武俊张洁更多>>
- 相关机构：河南工业大学河南职业技术学院上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金宁波市自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺更多>>
- 基于工艺流程图的车间生产管理系统设计与开发被引量：12
- 2017年
- 为了提高车间的信息化管理水平,以机械制造车间为对象,对车间总体业务与工艺流程的特点进行了分析,划分了车间生产管理系统的功能模块,给出了系统的体系架构组成。详细论述了工艺流程图建模与设计、基于工艺流程图的流程控制和生产进度监控、生产质量检验流程与方法等关键技术。在此基础上,以C#.NET为开发平台,设计并开发了基于工艺流程图的车间生产管理系统。通过实际应用,该系统较好的实现了以工艺流程图为核心的各项信息化管理功能。
- 李丽吉武俊武照云吴立辉
- 关键词：车间生产管理系统
- 晶圆制造物料运输系统性能分析建模方法被引量：8
- 2013年
- 为在自动化物料搬运系统设计阶段快速有效地分析该系统的性能,提出一种扩展Markov模型的建模方法,该方法减少了自动化物料搬运系统性能分析模型的规模,避免了模型的状态空间规模爆炸。采用某晶圆制造企业的实际生产数据进行测试,并与仿真分析方法比较。结果表明,扩展Markov模型与仿真模型在自动化物料搬运系统搬运量、运输小车利用率和空载小车到达平均时间间隔等指标方面的相对误差值为96%,处于[-8%,10%]的区间范围;与仿真模型相比,扩展Markov模型的性能分析效率提高了600倍以上。由此验证了所提扩展Markov模型建模方法的有效性。
- 吴立辉张洁
- 关键词：晶圆制造
- 数控机床在机检测中触发式测头误差变速补偿被引量：5
- 2021年
- 针对机床触发式测头进行系统误差校正时,需要通过数控机床控制器进行计算,从而导致操作困难且精度不高的问题,提出了一种新的测头系统误差补偿方法。该方法可以通过修改该方向上的测量速度,来对给定方向上的测头预行程进行校正,从而显著降低测头的误差。由于可以离线计算所有测量速度,因此控制器无需进行任何运算。分别在实验室和真实在机测量环境中,使用三维触发式测头对所提方法进行了测试。研究结果表明:该方法能够通过误差变速补偿实现触发式测头在机测量,无需控制器的复杂计算并且将误差降低了大约10倍,测头的误差从16.8μm减小到1μm。
- 白克黎智吴立辉
- 关键词：数控加工机床触发式测头误差补偿在机测量
- 基于排队网络的晶圆制造自动化物料运输系统性能模型被引量：4
- 2014年
- 为快速有效地分析晶圆制造自动化物料运输系统的性能,以获得优化的系统设计方案,提出一种基于排队网络的性能分析模型。该模型考虑多运输小车的堵塞特性,将运输小车运行过程等效为排队网络过程,并采用虚拟元对自动化物料运输系统的捷径导轨特性进行描述,提高了性能分析模型的准确性。采用某晶圆制造企业的实际生产数据进行实验,并与仿真模型进行比较。结果表明:基于排队网络的性能分析模型与仿真模型在运输小车利用率、AMHS搬运能力和空载小车到达平均时间间隔等指标方面的相对误差值97%处于[-7%,9%]的区间范围,且比仿真模型具有更高的计算效率。
- 朱登洁吴立辉
- 关键词：晶圆制造排队网络
