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广西千亿元产业重大科技攻关工程项目(1114001-10F)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
张杨
李琦
张法碧
王卫东
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相关机构:
桂林电子科技大学
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发文基金:
广西千亿元产业重大科技攻关工程项目
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相关领域:
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桂林电子科技...
作者
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王卫东
1篇
张法碧
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李琦
1篇
张杨
传媒
1篇
半导体技术
年份
1篇
2011
共
1
条 记 录,以下是 1-1
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表面注入D-RESURF器件耐压模型
被引量:1
2011年
建立表面注入双重降低表面电场(D-RESURF)结构击穿电压模型。D-RESURF器件在衬底纵向电场和Pb区附加电场的影响下,漂移区电荷共享效应增强,优化漂移区掺杂浓度增大,器件导通电阻降低。分析漂移区浓度和厚度对击穿电压的影响,获得改善击穿电压和导通电阻折中关系的途径。在满足最优表面电场和完全耗尽条件下,导出吻合较好的二维RESURF判据。在理论的指导下,成功研制出900 V的D-RESURF高压器件。
李琦
王卫东
张杨
张法碧
关键词:
击穿电压
导通电阻
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