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“上海－应用材料研究与发展”基金(AM0420)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：孙俊杰杨杰伟陈晓阳赵江铭吴晓铃更多>>
相关机构：上海大学郑州大学更多>>
发文基金：上海市青年科技启明星计划上海市科委纳米专项基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇微型机电系统
  • 1篇谐振频率

机构

  • 1篇郑州大学
  • 1篇上海大学

作者

  • 1篇吴晓铃
  • 1篇赵江铭
  • 1篇陈晓阳
  • 1篇杨杰伟
  • 1篇孙俊杰

传媒

  • 1篇中国机械工程

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究被引量：1
2008年
建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明,该类谐振器谐振频率的理论计算值和ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于2%,验证了该理论模型的正确性。采用多折叠梁谐振器可以实现低频下大振幅的电能-微机械能的转换。
赵江铭杨杰伟孙俊杰吴晓铃陈晓阳
关键词：微型机电系统谐振频率
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