您的位置： 专家智库 > >

国家科技重大专项(2009ZX02308-002)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：胡松赵立新李金龙周绍林更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇调平
  • 1篇伺服
  • 1篇伺服系统
  • 1篇工件台
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 1篇周绍林
  • 1篇李金龙
  • 1篇赵立新
  • 1篇胡松

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
双工件台光刻机中的调平调焦技术被引量：4
2010年
随着光刻机分辨力的提高,其焦深日益缩小。针对如何充分利用有限的焦深完成Si片的高效曝光,对步进扫描光刻机和双工件台光刻机的调平调焦原理进行了介绍,主要包括基于双光栅的检焦测量原理及检焦扫描路径规划,把Si片表面高度信息转化为离焦量和倾斜量等调平数据的算法,以及曝光位置实现调平调焦的伺服控制系统等,并从理论上对两系统的优缺点进行了对比。最后利用一组调平实验结果说明了双工件台系统调平调焦技术的优越性,指明了调平调焦技术的发展方向。
李金龙赵立新胡松周绍林
关键词：伺服系统
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0