天津市高等学校科技发展基金计划项目(20110711)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 相关作者：李彤裴志军王雅欣徐建萍王爽更多>>
- 相关机构：天津职业技术师范大学天津理工大学南开大学更多>>
- 发文基金：天津市高等学校科技发展基金计划项目国家自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 柔性衬底硅基太阳电池ZAO透明导电膜的研究被引量：2
- 2012年
- 采用孪生对靶直流磁控溅射的方法,在室温下制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜材料,将其应用于柔性衬底非晶硅薄膜太阳电池的窗口电极。通过调整Ar气流量(1.67×10-7 m3/s～8.33×10-7 m3/s),优化了ZAO薄膜的结构、成份及光电性能。得到如下结论:理想的Ar气流量为3.33×10-7 m3/s,此时ZAO薄膜具有较高的晶化率和C轴择优取向,薄膜的霍尔电阻率达为4.26×10-4Ω.cm,载流子浓度达到1.8×1021cm-3,可见光波长范围内的光学透过率达到85%以上。将优化后的ZAO薄膜用于柔性衬底非晶硅薄膜太阳电池的窗口电极,转化效率达到了4.26%。
- 王雅欣裴志军王爽李彤张军徐建萍蔡宏琨张德贤
- 关键词：柔性衬底磁控溅射ZAO薄膜
- 工作气压对TiO2薄膜晶体结构及光磁电性能的影响
- 2013年
- 利用射频磁控溅射的方法,在不同的工作气压(0.2Pa～4.0Pa)下,制备了一系列的本征TiO2薄膜。在2～340K的绝对温度下,测得所有制备态的本征TiO2薄膜均具有铁磁性,2.0Pa工作气压下制备的TiO2薄膜具有最大的室温饱和磁化强度为1.96emu/cm3。通过TiO2薄膜的X衍射(XRD)图谱观察到,在0.2Pa工作气压下,锐钛矿和金红石结构共存于TiO2多晶薄膜中;随着工作气压的增加,出现了金红石结构向锐钛矿结构的转变;当气压增加到2.0Pa时,TiO2薄膜的晶体结构由多晶态转变成非晶态。利用高分辨率透射电镜(HRTEM)分析TiO2薄膜的晶体结构,通过观察1.2Pa和2.0Pa工作气压下TiO2薄膜的电子衍射花样和HRTEM图,可以清楚地看到多晶态向非晶态的转变。利用分光光度计测试了TiO2薄膜样品的透过率曲线,可见光区平均透过率高于85%,伴随着晶体结构的非晶态转变,光学透过率曲线的吸收边向长波方向移动,光学带隙减小到3.14eV,由此可以证明,增加的结构缺陷是系统铁磁性产生的主要原因。并且,所有本征TiO2样品均为高阻态,电阻率高于107Ω.cm,可以排除以载流子为媒质的RKKY交换作用对系统铁磁性的影响。
- 王雅欣裴志军李彤徐建萍赵新为大川和宏
- 关键词：TIO2薄膜射频磁控溅射工作气压磁化曲线
