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国家自然科学基金(60476044)
作品数:
1
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王勇
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2007
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Mg预处理蓝宝石衬底法制备的Zn极性ZnO外延薄膜的结构研究(英文)
被引量:2
2007年
通过分子束外延法在经Mg预处理的蓝宝石衬底上制备了ZnO单晶薄膜,利用高分辨透射电镜、电子全息和X射线能谱对该薄膜的结构进行了细致的研究。结果表明,在蓝宝石衬底上预沉积一层很薄的Mg层,可以生长均匀Zn极性的ZnO外延薄膜。ZnO/MgO/蓝宝石的界面非常清晰锐利,同时在界面处可以观察到大约3个原子层的MgO。预沉积的Mg薄层对随后ZnO的极性选择起了关键性作用。
王勇
袁洪涛
杜小龙
梅增霞
曾兆权
邹进
贾金峰
薛其坤
张泽
关键词:
ZNO薄膜
透射电子显微术
电子全息术
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