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教育部重点实验室开放基金(KLET1013)

作品数：1 被引量：5H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 1篇涤纶
  • 1篇织物
  • 1篇织造
  • 1篇直流反应磁控...
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米TIO
  • 1篇纳米TIO2
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射功率
  • 1篇反应磁控溅射
  • 1篇非织造
  • 1篇非织造织物
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇江南大学

作者

  • 1篇邓炳耀
  • 1篇魏取福
  • 1篇徐阳

传媒

  • 1篇纺织学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
溅射功率对沉积纳米TiO_2织物光催化性能的影响被引量：5
2011年
室温条件下采用直流磁控反应溅射技术在涤纶纺黏非织造织物表面生长二氧化钛(TiO2)薄膜。采用X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪和原子力显微镜对不同溅射功率条件下所制备TiO2薄膜的结构和表面形貌进行表征,研究溅射功率对薄膜沉积速率以及沉积纳米TiO2织物光催化性能的影响。实验表明:在一定范围内,溅射功率对沉积薄膜的化学结构影响不大;溅射功率增加,薄膜的沉积速率和溅射效率提高,薄膜均匀性、致密性增加,沉积纳米TiO2织物的光催化性能提高,但过高的溅射功率使靶材出现过温,不仅使薄膜沉积速率降低,均匀性下降,而且易损伤靶材。
徐阳魏取福邓炳耀
关键词：直流反应磁控溅射纳米TIO2涤纶
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