中国博士后科学基金(20070410930)
- 作品数：3 被引量：6H指数：2
- 相关作者：谢勇君刘世元史铁林吴健康更多>>
- 相关机构：华中科技大学暨南大学武汉光电国家实验室(筹)更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 微/纳结构三维形貌高精度测试系统被引量：4
- 2010年
- 为实现微/纳结构三维形貌的高精度测量,提出利用显微干涉技术和偏振技术相结合的方法来研制微/纳结构三维形貌亚纳米级精度测试系统。首先,利用五步相移干涉技术采集5幅带有π/2相移增量的干涉条纹图。然后,通过Hariharan五步相移算法得到包裹相位图。最后,利用分割线相位去包裹算法和相位高度关系转换得到微/纳结构三维形貌。在测试过程中通过偏振片产生强度可调的线偏振光,再由1/2波片改变偏振光在分光镜中的分光比,补偿参考镜与试件的反射性能差异,可得到亮度适中且对比度高的干涉条纹图,从而有利于实现微/纳结构三维形貌的高精度测量。系统的轮廓算术平均偏差Ra的重复测量精度可达0.06nm,最大示值误差不到±1%,示值变动性不到0.5%。通过对标准多刻线样板、硅微麦克风膜和硅微陀螺仪折叠梁的三维形貌测量验证了系统的有效性和实用性。
- 谢勇君史铁林刘世元
- 关键词：显微干涉三维形貌
- 一种环境可控的MEMS微结构离面动态变形测试系统被引量：1
- 2010年
- 利用Linnik显微干涉技术和环境控制技术,研制了一套环境可控的微机电系统(MEMS)微结构离面动态变形测试系统,该系统可测量不同温度、不同压力下MEMS微结构的离面动态变形情况。测试系统的环境控制装置可提供0～300℃的温度变化和0.1～0.6MPa的压力变化。利用测试系统对不同压力下绝压型硅微压力传感器膜的动态变形以及不同温度下微电路板的变形形貌进行了测量,其中绝压型硅微压力传感器膜变形量的测量重复性误差小于20nm。
- 谢勇君史铁林刘世元吴健康
- 关键词：MEMS微结构环境控制显微干涉
- 利用Linnik显微干涉技术测量微结构动态特性被引量：2
- 2009年
- 为了实现微结构的离面运动、幅频特性和谐振频率等动态参数的测量,设计开发了微结构动态测试系统,采用Linnik显微干涉结构,具有放大倍率高和工作距离长的特点。首先,系统利用频闪成像技术、五步相移方法和分割线去包裹算法测量微结构离面运动,然后,再通过扫频技术得到微结构的幅频特性和谐振频率。利用该测试系统对硅微悬臂梁的离面振动和幅频特性进行了测试,实验结果表明:硅微悬臂梁的谐振频率为13.03kHz,离面振动测量重复性误差小于10nm。系统具有较好的测量可重复性和较高的测量精度,能满足微结构动态特性测量对测试系统的性能要求。
- 谢勇君史铁林刘世元吴健康
- 关键词：微结构显微干涉幅频特性
