国家高技术研究发展计划(2003AA327040)
- 作品数：3 被引量：19H指数：2
- 相关作者：黄松涛储茂友王星明赵鑫王赞海更多>>
- 相关机构：北京有色金属研究总院北京化工大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 溅射法镀二氧化钛薄膜靶材及工艺研究进展被引量：15
- 2006年
- 介绍了溅射法镀膜的基本原理,阐述了溅射法镀二氧化钛薄膜用靶材及相应溅射镀膜工艺的研究现状。溅射镀TiO2薄膜用靶材主要有金属钛、二氧化钛和“非化学计量”二氧化钛靶材3大类。由于钛的氧化态及靶材导电性不同,它们对溅射工艺(如溅射气氛等)有一定具体的要求,通过对靶材和相应工艺进行分析比较,指出应用“非化学计量”靶材是溅射法制备二氧化钛薄膜技术发展的重要方向。
- 赵鑫王星明黄松涛储茂友郭奋王赞海
- 关键词：溅射靶材二氧化钛薄膜
- 氧化钛烧结体的氧含量测定
- 2008年
- 用电子探针X射线微分析(EPMA)方法测定了一系列氧化钛烧结体中的氧含量,并用X射线衍射(XRD)分析对其相态作了研究,所得的结果指出根据产品的氧含量与其某些物理特性之间的内在联系,即可从其表观的某些物理性质估计某一烧结产品的氧化物含量,而所得结果对下一步的镀膜工作具有指导意义。
- 赵鑫沈剑韵王星明黄松涛储茂友郭奋王赞海
- 关键词：氧化钛EPMAXRD
- 几种新颖的光学镀膜材料被引量：4
- 2004年
- 当前光学镀膜技术和应用光学的进展迅速,新的各种形式光学镀膜材料不断涌现。介绍了"预熔化"光学镀膜材料、高阈值激光膜材料、用于树脂基片的冷镀材料和光学镀膜用靶材,并对这几种新型材料的应用情况及国内外的现状进行了简要介绍。
- 王星明黄松涛储茂友段华英张碧田张明贤龚述荣潘德明
- 关键词：镀膜材料激光损伤阈值靶材光学镀膜
- 几种新颖的光学镀膜材料
- 当前光学镀膜技术和应用光学的进展迅速,新的各种形式光学镀膜材料不断涌现。介绍了"预熔化"光学镀膜材料、高阈值激光膜材料、用于树脂基片的冷镀材料和光学镀膜用靶材,并对这几种新型材料的应用情况及国内外的现状进行了简要介绍。
- 王星明黄松涛储茂友段华英张碧田张明贤龚述荣潘德明
- 关键词：镀膜材料激光损伤阈值靶材
- 文献传递
