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重庆市自然科学基金(2010BB0075)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
袁松
孟丽娅
王庆祥
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相关机构:
重庆大学
教育部
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相关领域:
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原子能科学技...
年份
1篇
2014
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CMOS工艺X射线图像传感器设计
被引量:1
2014年
本文设计了一种不需闪烁体或增感屏,直接对X射线进行探测成像的线阵图像传感器,对其电荷收集进行了理论分析,设计了辐射加固的光敏元结构。采用0.5μm DPTM CMOS工艺,针对单个像元内含不同个数光敏元的结构进行了流片和X射线实验测试。测试结果表明:该图像传感器暗信号电压约为1V,随像元内光敏元个数的增加暗信号电压增大;饱和输出电压为2.4V;随光敏元个数的增加,电荷收集总量增加,总寄生电容也同时增加,所设计的单个像元含3个光敏元的结构能得到相对更大的有效输出电压。
孟丽娅
袁松
王庆祥
关键词:
X射线
图像传感器
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