国家自然科学基金(10472055) 作品数:16 被引量:62 H指数:5 相关作者: 岳瑞峰 吴建刚 刘理天 曾雪锋 康明 更多>> 相关机构: 清华大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 清华大学基础研究基金资助 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 机械工程 自动化与计算机技术 更多>>
基于介质上电润湿的微流体变焦透镜的研究进展 被引量:14 2006年 近年来,微流体变焦透镜的研究已展示出其在光学系统中的应用前景,其中基于介质上电润湿(Electrowet-ting on dielectric,EWOD)的微流体变焦透镜只需改变外加电压便能快速调节透镜焦距,并且具有尺寸小、结构灵活、功耗低、焦距调节范围广等许多突出优点而日益受到注目。在介绍EWOD机理的基础上,综述了目前基于EWOD的微流体变焦透镜的研究进展。 康明 吴建刚 曾雪锋 岳瑞峰 刘理天关键词:应用光学 微流体 微流控光学器件与系统的研究进展 被引量:5 2006年 微流控技术作为微全分析系统的关键与核心,一直是MEMS领域中的一个研究重点。随着微流控技术水平的不断提高以及与其它学科的不断渗透与融合,近年来已经涌现出一批令人注目的研究热点,其中微流控光学器件就是其典型代表。微流控技术与光学器件的融合,为传统光学器件的微型化、阵列化、低成本化以及高精度控制提供了可能。叙述了一些基于微流控技术的可变焦光透镜、显示器件、光开关、以及可调光纤光栅等新型光学器件的近期研究成果和应用背景。 吴建刚 岳瑞峰 曾雪锋 刘理天关键词:微流控 MEMS 光学器件 介质上电润湿 基于介质上电润湿的钳制式液体变焦透镜 被引量:5 2008年 提出了一种基于介质上电润湿(EWOD)的新型液体变焦透镜结构并研制出样机。它由一个依次覆盖有氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜及疏水介质膜的玻璃下极板、悬浮于其上方的一个中空金属环、以及作为透镜的去离子水滴组成。通过改变施加于ITO电极与金属环之间的电压大小,就能调控水滴的曲率,从而实现对透镜焦距的调节。实验结果表明,在0-40V电压范围内,该透镜样机的焦距调节范围为8.51mm至55.9mm,可实现对2.0cm至无穷远处物体的聚焦。 康明 欧阳帆 吴建刚 孙凯歌 岳瑞峰 刘理天关键词:介质上电润湿 变焦 基于介质上电润湿的平面可变焦液体微透镜 被引量:2 2006年 在现代光学技术中,可变焦微透镜被越来越广泛的使用.在提出的各种新型的可变焦微透镜技术中,基于介质上电润湿的微流体透镜由于其结构简单、功耗低、调节焦距方便等众多突出的优点而被人们所重视.本文中研制出一种基于介质上电润湿的平面微透镜结构,它不仅能控制改变焦距,还能实现透镜在平面上的横向运动. 欧阳帆 吴建刚 康明 岳瑞峰 刘理天关键词:介质上电润湿 变焦 微透镜 微流体 基于介质上电润湿的液滴产生器的研究 被引量:4 2007年 根据介质上电润湿的基本原理,对用于数字微流控系统的“三明治”结构器件中影响液滴输运和产生的因素进行了理论分析,并研制出了一种新型液滴产生器原型:液体被夹在上下两个电极板之间;下极板采用硅作为衬底、LPCVD掺杂多晶硅微电极阵列上热氧化生长的的SiO2薄膜作为介质层;上极板采用ITO透明导电玻璃板作为地电极;另外,在上下极板的表面都均匀旋转涂覆了一层30nm厚的Teflon薄膜为表面疏水层.实验结果表明,在空气气氛中,该器件在10Hz70V的脉冲电压下成功地实现了从蓄水池中对去离子水滴的分发. 岳瑞峰 吴建刚 曾雪锋 康明 刘理天关键词:介质上电润湿 芯片实验室 基于EWOD的锥形管状结构液体变焦透镜 被引量:12 2006年 提出了一种基于介质上电润湿(EWOD)的液体变焦透镜的新结构.它由一个依次覆盖有ITO透明导电薄膜及疏水介质膜的下极板、悬在其上的一个内外壁均覆盖有疏水层的玻璃锥管以及处于两者之间的导电液滴组成.通过改变ITO与液滴之间的电压大小,透镜的曲率及位置能同时被调节,从而实现对透镜焦距的调节.实验结果表明,该器件在0~50V电压下可实现对2cm至无穷远处物体的聚焦. 康明 岳瑞峰 吴建刚 欧阳帆 刘理天关键词:介质上电润湿 变焦 基于介质上电润湿的透射式显示器件 被引量:4 2008年 提出了一种基于介质上电润湿效应的新型透射式显示单元结构,它由夹在带有透明电极的两块玻璃板间的有色油滴和水组成,其中一个电极表面涂覆有疏水性介质层.通过改变两个电极间的外加电势,能够调节油滴对介质层的覆盖面积,从而控制显示单元的"开"、"关"状态.制作了具有该种单元结构的4×3显示阵列样机,并给出了初步的测试结果. 欧阳帆 吴建刚 孙凯歌 岳瑞峰 刘理天关键词:介质上电润湿 用于“芯片实验室”的静电机制微液滴控制芯片的研制 被引量:6 2006年 提出了一种结构简单、可编程控制的离散液滴控制芯片。它以硅为衬底,重掺杂多晶硅为微电极阵列,氧化硅为介质层,碳氟聚合物薄膜为疏水层。它克服了传统连续流传输、混合的局限性及层流条件的限制,通过控制施加在微电极阵列上的电压脉冲时序,成功实现了对离散液滴的快速传输和混合。在30 V驱动电压下,约0.9μL去离子水液滴传输速度可达24 mm/s;在40 V驱动电压下,约0.8μL去离子水液滴和约1.4μL的0.0001 mol/L Rhodam ine液滴在7/30 s内完成了快速混合。另外,还提出利用提高液滴速度及来回晃动混合后的液滴等几种加强混合方法。 吴建刚 岳瑞峰 曾雪锋 刘理天关键词:静电驱动 微流体 微机电系统 基于介质上电润湿的数字微流控器件的模拟 被引量:5 2006年 根据介质上电润湿的基本理论,利用计算流体动力学软件CFD-ACE+,成功模拟出了典型的“三明治“结构数字微流控器件中水滴输运、产生、分离和合并的全过程。模拟结果显示,上下极板间距和液滴输运速度之间呈线性关系;并且,当极板间距大于200μm时,液滴分离容易失败。模拟结果与已有的实验结果符合的非常好。 岳瑞峰 曾雪锋 吴建刚 康明 刘理天关键词:介质上电润湿 介质上电润湿液滴驱动的研究 被引量:7 2005年 制备了介质上电润湿液滴驱动器,该驱动器采用“三明治”结构下极板由Ti/Pt微电极阵列、Si3N4介质薄膜、碳氟聚合物疏水薄膜组成,上极板是覆盖有疏水薄膜的透明电极,液滴被夹在上下电极之间。分析了驱动器的驱动原理、驱动阻尼以及介质层捕获电荷的影响,讨论硅油填充“三明治”结构和空气填充“三明治”结构的差异。 吴建刚 岳瑞峰 曾雪锋 刘理天关键词:微流体 芯片实验室 微机械 介质上电润湿