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国家科技重大专项(2009ZX04014-23)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
费业泰
陈甦欣
苗恩铭
颜焱
牛鹏程
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相关机构:
合肥工业大学
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牛鹏程
1篇
颜焱
1篇
苗恩铭
1篇
陈甦欣
1篇
费业泰
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1篇
农业机械学报
年份
1篇
2011
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飞秒激光微加工中热熔化与热传递现象研究
被引量:3
2011年
对飞秒激光能量密度为0.108-28.68 J/cm2范围内加工的硅孔表面形貌尺寸进行分析,同时对热传递现象进行研究。理论分析了飞秒激光加工区域热传导时间及温度分布,并将其与实验测量值进行对比,验证了热影响的存在。通过理论与实验分析说明了在高能量飞秒激光加工中热传递现象不可避免,并获得了较好的孔加工质量的激光能量合理参数。
苗恩铭
陈甦欣
牛鹏程
颜焱
费业泰
关键词:
飞秒激光
熔化
热传递
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