福建省自然科学基金(2012J05089)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
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- 浸没式光刻机内薄边界浸液流动的仿真分析
- 2013年
- 硅片扫描速度的不断提升是45nm以下浸没式光刻的发展趋势，由此带来的液体泄漏问题日益凸显．降低液体边界厚度可有效提高抑制泄漏的表面张力，却改变了传统浸液流场的应力分布及流动规律．基于计算流体动力学方法，建立浸液流场的三维数值模型，在液体下界面的硅片处于高速扫描状态下，研究薄边界浸液流动的压力特征及液体更新效率，相关结果与已有试验吻合性好．研究结果显示，边界厚度取0．3～0．5mm时可取得最佳的抗泄漏效果，同时硅片沿压差流方向运动时边界压力最小且液体更新稳定，研究结果对增强光刻过程的可靠性和密封性提供了参考依据．
- 陈晖陈淑梅
- 关键词：光刻机计算流体动力学
- 基于复合滑移的微纳缝隙剪切流研究被引量：2
- 2014年
- 边界滑移是微流动的关键特征之一,通过改变流道壁面的滑移状态,为微流动控制提供了新的途径.基于微缝隙下的近壁面滑移效应,结合Navier滑移边界条件,建立亲疏液复合壁面下二维微缝隙剪切流的精确解模型.采用计算流体动力学方法进行微流动建模仿真以验证该数学模型的可靠性,在此基础上结合文献中试验测量所得的滑移参数值,针对壁面滑移状态不同的微缝隙,利用该数学模型研究其内部的微流动规律.结果显示:伴随着壁面运动的微缝隙滑移流场迅速变化,在毫秒级甚至更短时间内趋向于稳定状态.疏液型壁面的运动状态对滑移流动影响小,亲液型壁面的静止状态比运动状态对液体具有更强的束缚能力;在纳米级缝隙中,超亲液静止壁面和超疏液运动壁面结合时,液体将被强力地吸附在亲液壁面上.
- 陈晖沈明
- 关键词：剪切流非定常流动
