上海市“科技创新行动计划”(11DZ1120800)
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
- 相关作者：褚学宁李玉鹏吴晓松张磊王一凡更多>>
- 相关机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市“科技创新行动计划”国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术化学工程机械工程更多>>
- 基于正交试验的PECVD法沉积氮化硅薄膜工艺参数优化研究被引量：5
- 2014年
- 利用多响应正交试验方法研究了PECVD法沉积氮化硅薄膜的工艺参数的优化问题。鉴于目前针对多输出影响过程,尚无有效的方法进行工艺参数优化这一问题,利用综合评分法对衬底温度、气体总流量、NH3/SiH4流量比、反应腔气体压力、高频电场功率5个对氮化硅薄膜的主要质量特性影响较大的工艺参数进行全局优化,再对不满足质量期望的工艺参数进行部分正交分析,对全局优化的结果进行调整,得到最终的氮化硅镀膜的最优工艺参数。国内某光伏企业的验证试验表明了所提方法的有效性。
- 吴晓松褚学宁李玉鹏
- 关键词：PECVD氮化硅薄膜正交试验工艺参数
- 异质复杂产品的结构约简研究被引量：2
- 2016年
- 为提高异质复杂产品零部件共享率,提出一种异质结构约简方法。首先获取系列产品的功能需求,构建功能-结构映射矩阵,识别相同功能的功能部件;对同功能部件进行结构相似度判别,确定结构相似度较低的异质结构。然后基于信息公理对异质结构进行约简,在满足一定的顾客满意度前提下,选取信息量最小的结构方案替代其它同功能其它结构,提高系列产品零部件的共享率。最后以履带起重机为实例,验证提出方法的有效性。
- 王一凡褚学宁刘振华张磊
- 关键词：结构相似度信息公理
