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浙江省自然科学基金(Y404368)
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李晔
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Si_3N_4粉体制备工艺的热力学分析
2006年
根据热力学相关理论,利用基本函数ΔrH0T、ΔG0T、Kp在S i3N4粉体制备过程中的变化特征,分析了典型S i3N4粉体合成工艺的反应进行趋势,生成相的化学组成、稳定性,合成工艺最大转化率以及发展动向,讨论了过程可控和获得高纯、优质S i3N4粉体的热力学条件,开发优质、低能耗、高产率以适应工业化批量生产的S i3N4粉体合成工艺,流态化CVD是一条重要途径。
王耐艳
姚奎鸿
沃银花
李晔
王勇
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热力学函数
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