宁波市自然科学基金(2008A610054)
- 作品数：2 被引量：35H指数：2
- 相关作者：周毅汪爱英吴国松李洪波代伟更多>>
- 相关机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所更多>>
- 发文基金：宁波市自然科学基金浙江省科技计划项目更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 椭偏与光度法联用精确测定吸收薄膜的光学常数与厚度被引量：25
- 2010年
- 介绍了一种同时利用椭偏仪和分光光度计精确测量薄膜光学常数的方法,并详细比较了该方法与使用单一椭偏仪拟合结果的可靠性.采用可变入射角光谱型椭偏仪(VASE)表征了250—1700nm波段辉光放电法沉积的类金刚石薄膜,研究发现当仅用椭偏参数拟合时,由于厚度与折射率、消光系数的强烈相关性,无法得到吸收薄膜光学常数的准确解.如果加入分光光度计测得的透射率同时拟合,得到的结果具有很好的惟一性.该方法无需设定色散模型即可快速拟合出理想的结果,特别适合于确定透明衬底上较薄吸收膜的光学常数.
- 周毅吴国松代伟李洪波汪爱英
- 关键词：光学常数透射率
- 类金刚石减反膜的制备以及光学设计与优化
- 采用PECVD方法在单晶硅衬底上制备了类金刚石薄膜,利用光谱型椭偏仪精确测量了薄膜在可见以及近红外区域内的光学常数。研究发现,随着偏压的下降,类金刚石薄膜的折射率和消光系均减小。由于类金刚石薄膜在可见光范围内具有一定的吸...
- 周毅汪爱英
- 关键词：太阳能电池减反膜光学设计类金刚石薄膜
- 文献传递
- 类金刚石(DLC)薄膜的激光表面毛化工艺研究
- 利用线性离子束沉积技术在单晶硅衬底表面制备类金刚石(DLC)薄膜,采用波长为1070 nm的连续光纤激光器扫描DLC薄膜,研究了激光功率密度和薄膜成分对薄膜刻蚀工艺的影响,表征了激光刻蚀区薄膜的表面形貌和截面轮廓。结果表...
- 李爱魁汪爱英孙丽丽徐采云
- 关键词：DLC薄膜激光毛化损伤阈值
- 文献传递
- 多样品分析法测定吸收薄膜的厚度与光学常数的研究
- 薄膜的厚度d,折射率n和消光系数k决定了薄膜的反射、透射、吸收和偏振等各种光学特性。随着光电技术以及微电子技术的快速发展,薄膜的应用领域越来越广,各种单层或多层纳米功能薄膜是当前材料研究的热点,精确测量薄膜的厚度以及光学...
- 周毅孙丽丽汪爱英
- 关键词：光学常数类金刚石薄膜
- 文献传递
- 多样品法确定类金刚石薄膜的光学常数与厚度被引量：12
- 2010年
- 采用乙烷气体辉光放电法在单晶Si衬底上制备了名义厚度分别为75,150和250nm的类金刚石碳(DLC)薄膜,除沉积时间外其他工艺参数完全一致。使用可变入射角光谱型椭偏仪(VASE)测量了380～1700nm波段的椭偏谱。该研究发现,对单一DLC样品的椭偏数据进行分析时,一定的范围内,假定不同的薄膜厚度均可以得到非常好的拟合结果。结果表明,采用单样品椭偏法拟合时,厚度与光学常数呈现出强烈的关联性,无法快速获得准确的结果。采用多样品椭偏法,对三个样品建立相同的物理模型,假定他们的光学常数相同,进行数据拟合。分析发现该方法可以快速、简便地获得精确的折射率、消光系数以及厚度值。经过检验,结果具有非常好的唯一性。
- 周毅汪爱英
- 关键词：薄膜光学光学常数类金刚石
